【技术实现步骤摘要】
用于真空镀膜的磁导向单元
本技术属于真空镀膜
，具体是一种用于真空镀膜的磁导向单元。
技术介绍
在真空镀膜连续生产线的镀膜工序中，基片通常是安装在基片架上，通过传动机构传动，平稳运行在真空镀膜箱中。目前业内最常用的传动方式为磁导向传动，如图1所示，即在真空箱体顶板上固定磁导向单元1，基片架3顶杆上设有一排磁钢2，基片架3顶杆插装在磁导向单元I之间的空间中，所述的磁导向单元I包括U形槽11，U形槽11的两侧壁上各设有多组磁铁12，磁铁12靠磁铁固定片13固定在U形槽11的内壁上，基片架3顶杆上设置的磁钢2的N极、S极与磁铁12的N极、S极对应，利用磁铁12与磁钢2的之间的排斥力实现导向。在实际真空镀膜生产过程中，由于基片架3在磁导向单元I的空间中运动，磁铁固定片13的尖角、毛刺等不可避免的会刮擦工件车，产生粉末，污染基片，导致产品产生镀膜针孔等缺陷；另外，由于磁铁固定片13和磁铁12要靠螺钉固定在U形槽11上，螺钉势必会部分裸露在磁导向单元I的中间空间中，也会刮擦工件车，降低镀膜成品率；而且由于磁铁12位于U形槽11内壁上，安装维修很不方便，磁铁在内部拆卸安装都很困难。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种用于真空镀膜的磁导向单元，该磁导向单元把磁铁固定在磁铁挂件的外部，而磁铁挂件是整体的不锈钢槽，内部不存在尖角、毛刺，不再产生刮擦，使之更适合实际真空镀膜生产的使用，能大幅度提高镀膜成品率。 为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是提供一种用于真空镀膜的磁导向单元，包括大体呈几字形的磁铁挂...
【技术保护点】
用于真空镀膜的磁导向单元，其特征在于：包括大体呈几字形的磁铁挂件，所述磁铁挂件由整体的不锈钢一体成型，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。
【技术特征摘要】
1.用于真空镀膜的磁导向单元，其特征在于:包括大体呈几字形的磁铁挂件，所述磁铁挂件由整体的不锈钢一体成型，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：马磊，李忠，刘成，褚凯，
申请(专利权)人：蚌埠雷诺真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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