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本实用新型提供了一种用于真空镀膜的磁导向单元，包括大体呈几字形的磁铁挂件，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。本实用新型的磁导向单元把磁铁固定在磁铁挂件的外部，不会对工件车产生刮擦，减少了基片架与磁导向单元的摩...
该专利属于蚌埠雷诺真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蚌埠雷诺真空技术有限公司授权不得商用。

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