【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置,其特征在于:包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置,太阳轮安装在行星架的中心位置上,所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮分别等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间,齿圈限位杆固定于齿圈上,行星架通过行星架固定装置固定。
【技术特征摘要】
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