【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种金刚石表面双阴极等离子沉积纳米涂层的装备，包括真空室、电源、靶材、监控部件，其特征在于：在所述的真空室中，料盘设置于靶材的一侧，阳极板设置于靶材的另一侧；所述的电源在真空室外部，电源上包括有两个阴极，其中一个阴极连接于靶材，另一个阴极连接于料盘，电源的阳极连接于阳极板，在靶材上还设置有监控部件。
【技术特征摘要】
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