下载真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置的技术资料

文档序号:9272177

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本发明公开了一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置,包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置。太阳轮安装在行星架的中心位置上,所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各为等半径放射性排列在太阳轮和齿...
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