【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种测试三英寸扩散硅片表面镀镍厚度方法,其特征在于:测试方法步骤如下:1)将脱脂清洗后的三英寸扩散硅片装入塑料花篮,每花篮放置25片;2)将装好硅片的花篮放置在氢氟酸槽内处理60±2s;3)花篮移进氢氧化钾槽处理60±2s,氢氧化钾浓度为20±0.5%、处理液温度为65±2℃;4)花篮置于纯水中清洗60±2s,手动上下摆动,从花篮中间位置抽取一片硅片作为测试镍厚样片,样片放于专用花篮上置于甩干机内进行甩干处理,甩干机转速800次/分,甩干时间180s;5)取出样片,用分析天平进行称重,记录数据为“镀镍前重量”(W1),所抽样片放入原花篮对应位置进行后续镀镍;6)确认镀镍液温度为72±2℃,然后将花篮的把手安放在镀镍液槽上方机械臂上,打开机械臂开关使花篮在镍液中上下摆动(硅片须完全浸没于镍液中),摆动速度100次±10次/分,镀镍时间240±10s;7)镀镍结束后,立即将花篮从机械臂上卸下,将花篮放入三级纯水槽浸洗,每级浸洗时间30s;8)取出花篮,放入甩干机中进行甩干干燥,甩干机转速800次/分,甩干时间180s;9)镀镍厚度检查测试:从花篮中取出样片,用分析天平进行称重,记录数据为“ ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈许平,陈春香,
申请(专利权)人:南通皋鑫电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。