【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种全数字3D集成电路硅通孔缺陷自动检测方法,其特征在于,采用如下电路对硅通孔缺陷进行短路检测或者断路检测:包括测试电路(1)及待测试TSV(2),所述的测试电路(1)包括lacth1锁存器和lacth2锁存器,每个锁存器有两个输入端口、一个输出端口,输入端口分别为时钟端口和数据端口,Lacth1的时钟端口与lacth2的时钟端口接频率相同、相位相反的时钟信号或者接频率相同的不交叠时钟的时钟信号,测试向量通过Lacth1的输入端口输入,lacth1输出同时连接到待测试TSV(2)的A端和lacth2的数据端口,Lacth2的输出端即为检测电路的输出,待测试TSV(2)的B端口为模式设置端口,通过对B端口的电位进行接地或开路的设置,完成检测模式设置。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。