具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法技术

具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法，属于聚合物热光开关制备技术领域。从下至上依次由衬底（1）、SiO2下包层（2）、波导芯层（3）、波导上包层（4）和微加热电极（5）五部分构成，微加热电极（5）位于波导互作用区（103）的波导臂上，波导芯层（3）采用马赫-曾德尔干涉仪（MZI）型结构，波导互作用区（103）的波导上包层（4）以微加热电极（5）为掩膜被刻蚀成空气隔离槽（9）结构。本发明专利技术避免了重新设计波导与电极的结构和尺寸，只需采用干法刻蚀技术对器件进行一步刻蚀操作，即可有效地降低器件的功耗。制备的热光开关的功耗可以降至6.5mW，相比于未采用空气隔离槽结构的器件降低了45%。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关，从下至上依次由衬底（1）、SiO2下包层（2）、波导芯层（3）、波导上包层（4）和微加热电极（5）五部分构成，波导芯层（3）采用马赫?曾德尔干涉仪（MZI）型结构，由光信号输入区（101）、3?dB?Y分支分束器（102）、波导互作用区（103）、3?dB?Y分支耦合器（104）和光信号输出区（105）组成，微加热电极（5）位于波导互作用区（103）的波导臂上，其特征在于：波导互作用区（103）的波导上包层（4）以微加热电极（5）为掩膜被刻蚀成空气隔离槽（9）结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孟杰，张大明，王希斌，孙健，王菲，孙小强，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：