【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于微环?马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器，其包括：入射波导，其为直波导，用于接收入射光和输出出射光；弯曲波导，其与入射波导近距离设置，使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导，且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出；马赫曾德尔干涉仪结构，其输入端与弯曲波导的输入端相连，其输出端与弯曲波导的输出端相连，以形成微环谐振腔，且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极，其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压，以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：费永浩，陈少武，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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