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具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法,属于聚合物热光开关制备技术领域。从下至上依次由衬底(1)、SiO2下包层(2)、波导芯层(3)、波导上包层(4)和微加热电极(5)五部分构成,微加热电极(5)位于波导互作用区(103)的...
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