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具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法技术
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下载具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法的技术资料
文档序号:9142207
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具有空气隔离槽结构的低功耗聚合物热光开关及其制备方法,属于聚合物热光开关制备技术领域。从下至上依次由衬底(1)、SiO2下包层(2)、波导芯层(3)、波导上包层(4)和微加热电极(5)五部分构成,微加热电极(5)位于波导互作用区(103)的...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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