一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构制造技术

一种高效紧凑的马赫-曾德尔光开关结构，属于集成光学领域。包括输入波导I（1）和输入波导II（2），互相垂直交汇成十字型结构，在交汇处刻蚀分光微纳沟槽（3），相邻的波导的两端作为光开关的输入端I（1a）和输入端II（2a），另外两端作为输出端分别与L型参考臂（5）和L型相移臂（6）的一端相连；输出波导I（9）和输出波导II（10），互相垂直交汇成十字型结构，在交汇处刻蚀合光微纳沟槽（8），十字型结构中相邻的波导的两端作为光开关的输出端I（9b）和输出端II（10b），另外两端作为输入端分别与L型参考臂（5）和L型相移臂（6）的另一端相连。本发明专利技术结构紧凑，便于器件布局配置易于向二维方向扩展集成。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高效紧凑的马赫?曾德尔光开关结构，其特征在于：其包括输入波导I（1）和输入波导II（2），互相垂直交汇成十字型结构，在交汇处刻蚀分光微纳沟槽（3），所述的十字型结构中相邻的波导的两端作为光开关的输入端I（1a）和输入端II（2a），十字型结构的另外两端作为输出端分别与L型参考臂（5）和L型相移臂（6）的一端相连；所述的L型参考臂（5）和L型相移臂（6）分别构成马赫?曾德尔干涉结构中所需的一条光路；输出波导I（9）和输出波导II（10），互相垂直交汇成十字型结构，在所述的交汇处刻蚀合光微纳沟槽（8），所述的十字型结构中相邻的波导的两端作为光开关的输出端I（9b）和输出端II（10b），另外两端作为输入端分别与L型参考臂（5）和L型相移臂（6）的另一端相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘克，牟思璇，黄晖，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：