【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种有伸缩臂的机器人臂机构,具体地说,涉及一种与使机器人臂到达其伸展缩回位置的驱动机构配合作用的机器人臂机构。
技术介绍
此类机器人臂机构应用于半导体制造过程中。在制造过程中,臂机构被操作使得臂伸缩而处理工件,亦即是待加工的物体。这些工件例如可包括晶片或别的精密零件,它们被传送并被机器人臂置于工作台上。例如,这种机器人臂机构已被公开于日本专利No.2808826中,它具有一夹持和放开有关工件的手部件,以及用于操作、移动手部件的机器人臂。机器人臂由具有可枢轴转动的接头部份的多个平行连杆构成,在接头部份上配置有使连杆维持其平行姿态的同步齿轮。在平行连杆被操作时,同步齿轮被转动使手部件前后运动而且使手部件维持其预定方向。平行连杆通过一转盘以可枢轴转动的方式连接于它们的基座,并由两个电动机通过联轴器和传动轴驱动而被伸展或缩回。转盘在其侧周面有与驱动齿轮啮合的齿,驱动齿轮由另一马达驱动而使机器人臂转动。此类的另一种机器人臂机构公开在日本专利申请公开Tokkaihei 10-156770中,它具有一组构成一可伸缩平行四边形连杆机构的连杆,以及包括可操作地安装 ...
【技术保护点】
一种机器人臂机构,它具有: 多个用于支承和夹持工件的夹持件,夹持件包括第一夹持件和第二夹持件, 一与夹持件连接的机器人臂,该机器人臂具有一个带有第一、二端部的第一臂连杆,在该第一臂连杆的两端部之间有一个可枢转连接部份;一个有第一、二端部、且在这两端部之间有一个第一可枢转连接部份的第二臂连杆,第一、二臂连杆均可环绕一回转轴线转动,一个用于维持第一、二夹持件姿态的连杆维持机构;一个根据第一、二臂连杆之间的回转角度而操作该连杆维持机构的连杆操作机构,该连杆操作机构具有与连杆维持机构以可枢转方式连接的杆件,此杆件具有分别有第一、二端部的一曲柄及连接连杆,曲柄在其第一端部 ...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:奥野长平,森弘树,渡边彻也,
申请(专利权)人:帝人制机株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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