保持预期曝光水平的方法和设备技术

一个用于使一个表面选择性曝光的射束，借助于两个围绕相互垂直的轴振动的振荡反光镜，沿一条螺旋路线移动。通过保持振荡频率和旋转振荡反光镜偏转的恒定乘积，使曝光水平能达到基本上恒定。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于控制影象曝光部分的曝光的方法和设备。更具体地说，它是指利用光固化进行三维物体生产，尤其是指有控制地利用相当高功率束射源如高功率激光器，以相当高的速度和精度直接进行所述的生产。束射源如激光器，对于在待成象表面上利用不同类型扫描进行影象生产非常有用。虽然一些类型的能量(如电子束)可以用电场或磁场进行偏转扫描，但激光束扫描典型地是用机电装置进行的，例如用若干组由伺服电机驱动的反光镜，后者再由适当的计算机器件控制。这些机电装置运转，比起其用电或磁控制的对应装置，是相当慢的。三维成象最近已变得非常重要。在三维成象中遇到的问题比二维成象中出现的问题复杂得多，这是由于它还需要精确控制曝光深度，以及由于三维模型的多层次结构。已经有人提出了很多种利用光固化生产三维仿型的系统。欧洲专利申请(出版号250，121，由ScitexCorporation，Ltd于1987年6月6日提交，列入本文参考文献)对本
的有关文件做了很好的总结，其中包括应归功于Hull，Kodama和Herbert的各种方法。进一步的背景情况详见1988年6月21日公布给Fudim的美国专利No4，752本文档来自技高网...

【技术保护点】
用一束辐射使一个表面的预定部分达到预期曝光水平的方法，包括下列步骤：通过第一反光镜和第二反光镜组件使所述射束偏转到所述表面，第一反光镜有第一旋转轴，第二反光镜有第二旋转轴；使第一反光镜以预期频率和有效振幅按基本上正弦运动围绕所述第一 轴振荡，使第二反光镜按基本上正弦运动以基本上同第一反光镜采用的一样的预期频率和有效振幅围绕第二轴振荡，这样，这两个反光镜是以共同频率值和共同有效振幅值为特征的；保持第一反光镜正弦运动和第二反光镜正弦运动之间大约９０度相位差；通过按反 比关系逐渐且同时改变共同有效振幅值和共同频率值，用所述射束以螺旋路线跟踪所述表面，从而对这两个值的乘积加...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤斯塔西奥斯瓦西里欧，
申请(专利权)人：帝人制机株式会社，
类型：发明
国别省市：US[美国]