下载保持预期曝光水平的方法和设备的技术资料

文档序号:2760145

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一个用于使一个表面选择性曝光的射束,借助于两个围绕相互垂直的轴振动的振荡反光镜,沿一条螺旋路线移动。通过保持振荡频率和旋转振荡反光镜偏转的恒定乘积,使曝光水平能达到基本上恒定。...
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