Workpiece handling robot. Used for processing system of robot and workpiece, which comprises a base component is fixedly connected with the end effector of a light input light sensor, which is characterized in that the light generated in the processing chamber, moving the end effector performs light input, record changes of light optical sensor, obtain the end the position of the desired signal in the record, the light sensor includes an optical transmitter, plasma source activation, determine the position of the center, in the position of the opening end of the input light resides along the path of the end effector at center position intersects the second path, a rotation and propagation path, the structure system also includes a a beam sensor, determined by beam handoff, more in line with market demand, the use of more broad prospects.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种工件搬运机器人。用于机器人与工件的加工系统，包括固定联接的基座组件，具有一个端部执行器的光输入的光传感器，其特征是：在所述处理腔室内产生光感，移动的端部执行器执行光输入，记录得到达光传感器的光量变化，在记录的信号中获得所期望的端部位置。
技术介绍
目前，公知的工件处理系统通常采用真空传送机器人，在大气压存储贮器中转移工件（例如，半导体晶片），真空输送机器人包括一个具有端部执行器的伸缩臂，通过晶片操控端部执行器。本技术是一种工件搬运机器人，运用主要以固定联接的基座组件，具有一个端部执行器的光输入的光传感器，其特征是：在所述处理腔室内产生光感，移动的端部执行器执行光输入，记录得到达光传感器的光量变化，在记录的信号中获得所期望的端部位置，这点创新设计在商业运营推广中是一种极大的竞争优势，可贵的是这项技术原理简单，并且其设方案合理实用，在思维上打破成规，从而带来了新的技术革命。
技术实现思路
为了克服目前传统的工件搬运结构在运作构筑上存在的缺陷，技术提供了一种工件搬运机器人，运用以固定联接的基座组件，具有一个端部执行...
【技术保护点】
一种工件搬运机器人，用于机器人与工件的加工系统，包括固定联接的基座组件，具有一个端部执行器的光输入的光传感器，其特征是：在处理腔室内产生光感，移动的端部执行器执行光输入，记录得到达光传感器的光量变化。
【技术特征摘要】
1.一种工件搬运机器人，用于机器人与工件的加工系统，包括固定联接的基座组件，具有一个端部执行器的光输入的光传感器，其特征是：在处理腔室内产生光感，移动的端部执行器执行光输入，记录得到达光传感器的光量变化。
2.根据权利要求1所述的工件搬运机器人，其特征是：光传感器包括一个光学发射器，激活的等离子体源，确定中心位置，在该位置的开口...
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