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文档序号:8968400

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一种工件搬运机器人。用于机器人与工件的加工系统,包括固定联接的基座组件,具有一个端部执行器的光输入的光传感器,其特征是:在所述处理腔室内产生光感,移动的端部执行器执行光输入,记录得到达光传感器的光量变化,在记录的信号中获得所期望的端部位置,...
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