晶圆片内外滚动花篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆片内外滚动花篮，包括两个固定板、中心滚轴、带有锯齿口的从动滚轴、固定压板和主动轮；中心滚轴的两端分别插入到两个固定板的中心孔内，两根非可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的两个侧孔内，可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的弧形通槽内；中心滚轴的两端分别固定一个中心滚轴从动轮，从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮，且位于同一端的主动轮和中心滚轴从动轮相啮合、中心滚轴从动轮和从动滚轴从动轮相啮合。本实用新型专利技术提供的晶圆片内外滚动花篮，可以实现晶圆片在花篮内的滚动清洗，提高清洗质量；同时花篮在清洗槽内进行滚动，可以带动液体循环、减少液体内的物质沉淀，提高清洗效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

Inside and outside rolling basket

The utility model discloses a wafer and rolling basket, including two fixing plate, roller, serrated mouth of the driven roller and the driving wheel and the fixed plate; both ends of the center roller are respectively inserted into the center hole of the fixed plate two, two ends of non mobile driven rolling shaft are respectively inserted into the two a side hole two fixed plate, both ends of the driven roller can move respectively into two fixed plate arc grooves; both ends of the center roller are respectively fixed with a central roller wheel, both ends of the driven roller are respectively fixed with a driven rolling shaft driven wheel, the driving wheel and the driven wheel and the roller center at the same end of the engagement, the center roller driven wheel and a driven roller driven wheel meshing. The utility model provides a wafer inside and outside rolling basket, can realize the wafer in a basket of flowers in rolling cleaning, improve the cleaning quality; at the same time the basket in the washing tank rolling, can drive the liquid circulation, reduce the liquid material in the precipitation, to improve the cleaning effect.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种清洗晶圆片时用于装载晶圆片的装置，尤其涉及一种晶圆片内外滚动花篮。
技术介绍
现在在清洗太阳能、半导体等用到的各种晶圆片时，通常将晶圆片装载在花篮内进行清洗，当晶圆片装载在花篮上时，花篮和晶圆片之间位置即保持固定，理论上不会发生任何移动或滚动，这样使得晶圆片和花篮相接触的地方就无法清洗到，同时，清洗槽内的液体动作很小，液体内的物质会发生沉淀，整个液体在各处的性质不能保持完全一致，会导致晶圆片各处的清洗效果不同。
技术实现思路
专利技术目的:为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种晶圆片内外滚动花篮，能够在清洗时改变晶圆片和花篮的接触位置，提高清洗效果。技术方案:为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为:晶圆片内外滚动花篮，包括两个固定板、一根中心滚轴、三根带有锯齿口的从动滚轴、固定压板和两组主动轮，两组主动轮的中心轴分别与两个固定板固定；所述三根从动滚轴配合使用以卡合住晶圆片，记其中两根从动滚轴为非可移动从动滚轴、另一根从动滚轴为可移动从动滚轴；在固定板上设置有一个中心孔、两个侧孔和一个弧形通槽；所述中心滚轴的两端分别插入到两个固定板的中心孔内，所述两根非可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的两个侧孔内，所述可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的弧形通槽内，中心滚轴和三根从动滚轴位置平行、且三根从动滚轴与中心滚轴的间距相等；所述中心滚轴的两端分别固定一个中心滚轴从动轮，所述从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮，且位于同一端的主动轮和中心滚轴从动轮相啮合、中心滚轴从动轮和从动滚轴从动轮相啮合；所述固定压板用于限制可移动从动滚轴相对弧形通槽移动。优选的，所述每组主动轮的主动轮数目为两个。上述结构中，使用时首先移动可移动从动滚轴相对弧形通槽的位置，将晶圆片插入到三根带有锯齿口的从动滚轴的锯齿口内，再移动可移动从动滚轴相对弧形通槽的位置，使三根从动滚轴能够有效卡合住晶圆片不脱落，此时通过固定压板固定住可移动从动滚轮相对弧形通槽的位置，限制可移动从动滚轴相对弧形通槽移动，此时中心滚轴和三根从动滚轴均只能够相对固定板发生转动而不能发生移动；驱动主动轮动作，带动中心滚轴从动轮和中心滚轴发生转动，带动从动滚轮从动轮和从动滚轴发生转动，这样晶圆片和从动滚轴之间的接触位置就发生变化，能够提供晶圆片的清洗质量；同时花篮整体结构的滚动能够搅动清洗槽内的液体，避免液体沉淀，提高清洗效果。有益效果:本技术提供的晶圆片内外滚动花篮，可以实现晶圆片在花篮内的滚动清洗，提高清洗质量；同时花篮在清洗槽内进行滚动，可以带动液体循环、减少液体内的物质沉淀，提高清洗效果。附图说明图1为本技术的正视结构示意图；图2为本技术的侧视结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术作更进一步的说明。如图1、图2所示为一种晶圆片内外滚动花篮，包括两个固定板6、一根中心滚轴1、三根带有锯齿口的从动滚轴、固定压板5和两组主动轮2，两组主动轮2的中心轴分别与两个固定板6固定；所述三根从动滚轴配合使用以卡合住晶圆片，记其中两根从动滚轴为非可移动从动滚轴3、另一根从动滚轴为可移动从动滚轴4 ;在固定板6上设置有一个中心孔、两个侧孔和一个弧形通槽；所述中心滚轴I的两端分别插入到两个固定板6的中心孔内，所述两根非可移动从动滚轴3的两端分别插入到两个固定板6的两个侧孔内，所述可移动从动滚轴4的两端分别插入到两个固定板6的弧形通槽内，中心滚轴I和三根从动滚轴位置平行、且三根从动滚轴与中心滚轴I的间距相等；所述中心滚轴I的两端分别固定一个中心滚轴从动轮8，所述从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮7，且位于同一端的主动轮2和中心滚轴从动轮8相啮合、中心滚轴从动轮8和从动滚轴从动轮7相啮合；所述固定压板5用于限制可移动从动滚轴4相对弧形通槽移动；所述每组主动轮2的主动轮2数目为两个。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出:对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。权利要求1.晶圆片内外滚动花篮，其特征在于:包括两个固定板￠)、一根中心滚轴(I)、三根带有锯齿口的从动滚轴、固定压板(5)和两组主动轮(2)，两组主动轮(2)的中心轴分别与两个固定板￠)固定；所述三根从动滚轴配合使用以卡合住晶圆片，记其中两根从动滚轴为非可移动从动滚轴(3)、另一根从动滚轴为可移动从动滚轴(4);在固定板(6)上设置有一个中心孔、两个侧孔和一个弧形通槽；所述中心滚轴(I)的两端分别插入到两个固定板(6)的中心孔内，所述两根非可移动从动滚轴(3)的两端分别插入到两个固定板￠)的两个侧孔内，所述可移动从动滚轴(4)的两端分别插入到两个固定板(6)的弧形通槽内，中心滚轴(I)和三根从动滚轴位置平行、且三根从动滚轴与中心滚轴(I)的间距相等；所述中心滚轴(I)的两端分别固定一个中心滚轴从动轮(8)，所述从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮(7)，且位于同一端的主动轮(2)和中心滚轴从动轮(8)相啮合、中心滚轴从动轮(8)和从动滚轴从动轮(7)相啮合；所述固定压板(5)用于限制可移动从动滚轴(4)相对弧形通槽移动。2.根据权利 要求1所述的晶圆片内外滚动花篮，其特征在于:所述每组主动轮(2)的主动轮⑵数目为两个。专利摘要本技术公开了一种晶圆片内外滚动花篮，包括两个固定板、中心滚轴、带有锯齿口的从动滚轴、固定压板和主动轮；中心滚轴的两端分别插入到两个固定板的中心孔内，两根非可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的两个侧孔内，可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的弧形通槽内；中心滚轴的两端分别固定一个中心滚轴从动轮，从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮，且位于同一端的主动轮和中心滚轴从动轮相啮合、中心滚轴从动轮和从动滚轴从动轮相啮合。本技术提供的晶圆片内外滚动花篮，可以实现晶圆片在花篮内的滚动清洗，提高清洗质量；同时花篮在清洗槽内进行滚动，可以带动液体循环、减少液体内的物质沉淀，提高清洗效果。文档编号H01L21/673GK203055878SQ20122059383公开日2013年7月10日 申请日期2012年11月13日 优先权日2012年11月13日专利技术者徐竹林, 管选伟 申请人:苏州华林科纳半导体设备技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
晶圆片内外滚动花篮，其特征在于：包括两个固定板(6)、一根中心滚轴(1)、三根带有锯齿口的从动滚轴、固定压板(5)和两组主动轮(2)，两组主动轮(2)的中心轴分别与两个固定板(6)固定；所述三根从动滚轴配合使用以卡合住晶圆片，记其中两根从动滚轴为非可移动从动滚轴(3)、另一根从动滚轴为可移动从动滚轴(4)；在固定板(6)上设置有一个中心孔、两个侧孔和一个弧形通槽；所述中心滚轴(1)的两端分别插入到两个固定板(6)的中心孔内，所述两根非可移动从动滚轴(3)的两端分别插入到两个固定板(6)的两个侧孔内，所述可移动从动滚轴(4)的两端分别插入到两个固定板(6)的弧形通槽内，中心滚轴(1)和三根从动滚轴位置平行、且三根从动滚轴与中心滚轴(1)的间距相等；所述中心滚轴(1)的两端分别固定一个中心滚轴从动轮(8)，所述从动滚轴的两端分别固定一个从动滚轴从动轮(7)，且位于同一端的主动轮(2)和中心滚轴从动轮(8)相啮合、中心滚轴从动轮(8)和从动滚轴从动轮(7)相啮合；所述固定压板(5)用于限制可移动从动滚轴(4)相对弧形通槽移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐竹林，管选伟，
申请(专利权)人：苏州华林科纳半导体设备技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：