苏州华林科纳半导体设备技术有限公司专利技术

苏州华林科纳半导体设备技术有限公司共有8项专利

  • 本实用新型公开了一种磁性悬浮导轨,包括支撑箱体、旋转电机、相啮合的主动齿轮和从动齿轮、驱动轴和支撑轴,所述旋转电机的壳体、主动齿轮的中心轴和从动齿轮的中心轴均与支撑箱体保持固定,主动齿轮套装固定在旋转电机的输出轴上,从动齿轮套装固定在驱...
  • 本实用新型公开了一种新型陶瓷板下料烘干台,其特征在于:包括机架、烘干装置和翻转装置,所述烘干装置固定在机架上方,所述烘干装置设有升降机构,并与设置在机架上的升降气缸连接,所述翻转装置设置于机架一侧,所述翻转装置包括转臂和翻转电机,翻转电...
  • 本实用新型公开了一种晶圆片内外滚动花篮,包括两个固定板、中心滚轴、带有锯齿口的从动滚轴、固定压板和主动轮;中心滚轴的两端分别插入到两个固定板的中心孔内,两根非可移动从动滚轴的两端分别插入到两个固定板的两个侧孔内,可移动从动滚轴的两端分别...
  • 本实用新型公开了一种多花篮上下料台,包括两个以上花篮承载平台、与花篮承载平台相对应的支架、水平移动导轨平台和机械手;所述水平移动导轨平台上设置有水平移动驱动气缸、水平移动导轨和滑块,所述滑块安装在水平移动导轨上、并与水平移动驱动气缸的输...
  • 本实用新型公开了一种花篮清洗设备,包括两个以上清洗槽、抛动机构、摆动机构和控制器,每个清洗槽配备一套抛动机构,两个相邻清洗槽之间配备一套摆动机构;所述摆动机构包括机械手、承载台和移动机构,所述机械手用于从抛动机构上抓取花篮并放置到承载台...
  • 本发明公开了一种高精度半导体恒温机,包括:设有精确温控仪表的控制箱以及内部设有恒温控制塔的主机箱。所述恒温控制塔外壁由水冷式散热板组成,塔内设有耐腐蚀药液腔,所述耐腐蚀药液腔内设有用于测得耐腐蚀药液腔内药液温度的PT100温度探头;所述...
  • IPA雾化干燥机,包括石英缸、铝板加热器、冷却盘管和提升装置,在整个设备的顶部设置有风机,在所述冷却盘管位于石英缸的上部侧面,所述铝板加热器位于石英缸的下部,所述提升装置位于石英缸的中心上部,在石英缸内提升产品。所述冷却盘管的外部连接冷...
  • 高危气体处理器,包括壳体,壳体的内部左右两侧分别为正压腔和负压腔,在正压腔和负压腔的下部壳体内设置有两个磁力泵,在正压腔的上部安装喷淋塔,并在喷淋塔的侧面设置有喷淋管,在负压腔上设置有检修口和出气管。本设备主要运用于对酸、碱气体的吸附过...
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