物品保管设备及物品保管方法技术

本发明专利技术提供一种物品保管设备及物品保管方法，控制装置在判断为决定同时期地控制为第一供给状态的惰性气体供给部的总数超过了同时供给最大数的情况下，将决定同时期地控制为第一供给状态的惰性气体供给部中的同时供给最大数以下的惰性气体供给部控制为第一供给状态，对于剩余的惰性气体供给部执行开始延迟处理，所述开始延迟处理是使第一供给状态的开始延迟设定延迟时间的处理。

【技术实现步骤摘要】
物品保管设备及物品保管方法
本专利技术涉及物品保管设备以及使用了这样的物品保管设备的物品保管方法，所述物品保管设备包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，向收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部供给惰性气体；以及控制装置，控制所述搬运装置的动作和所述惰性气体供给部的流量调节装置的动作。
技术介绍
作为上述的物品保管设备的一例，已知如下所述的带净化功能的包括物品保管架的物品保管设备。该物品保管架具有多个收纳部，该多个收纳部收纳用于容纳半导体晶片的FOUP等搬运容器，在各收纳部具有供给喷嘴，该供给喷嘴作为向搬运容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体的惰性气体供给部，以便防止容纳在搬运容器内部的半导体晶片的污损。在日本特开2010-16199号公报（专利文献1）中公开了这样的物品保管设备的一例，在该物品保管设备中，在搬运容器收纳于收纳部时和没有收纳于收纳部时，改变从供给喷嘴排出的惰性气体的流量，使搬运容器没有收纳于收纳部时的惰性气体的流量比搬运容器收纳于收纳部时的流量小。上述专利文献1的物品保管架具有多个收纳搬运容器的收纳部，在各收纳部设置有检测搬运容器的有无的检测装置。并且构成为，在由检测装置检测到在收纳部收纳有搬运容器的情况下，向搬运容器内供给足以防止容纳于其内部的半导体晶片的污损的流量（称为第一流量）的惰性气体。并且构成为，在检测到搬运容器没有收纳于收纳部的情况下，为了防止杂质微粒蓄积于上述供给喷嘴，而从供给喷嘴排出设定成比上述第一流量小的值的流量（称为第二流量）的惰性气体。这样的流量的切换通过流量调节装置来进行。流量调节装置构成为，将惰性气体的供给流量调节为由控制装置指示的目标流量。在上述专利文献1中，当在物品保管架同时期地收纳有多个搬运容器的情况下，为了对所收纳的所有搬运容器供给第一流量的惰性气体，而从控制装置对各流量调节装置指示目标流量。但是，当对收纳于物品保管架的所有搬运容器供给第一流量的惰性气体所需的流量超过了能够从供给源（例如氮气等的储气瓶）供给的惰性气体的流量时，能够供给到各个搬运容器的惰性气体的流量无法满足作为目标流量的第一流量。因此，即使作为目标流量而指示了第一流量，流量调节装置也无法将惰性气体的供给流量调节至所述目标流量，存在从惰性气体供给部只能供给低于目标流量的流量的惰性气体的不良情况。有时在流量调节装置具有在陷入了实际供给的流量低于目标流量的状态持续了设定时间的状态时输出错误的功能。在使用具有这样的功能的流量调节装置的情况下，如上所述，当能够供给到各个搬运容器的惰性气体的流量不足作为目标流量的第一流量的状态持续了设定时间时，输出错误，因此可能无法使设备正常地运转。
技术实现思路
鉴于上述背景，期望实现即使在从惰性气体的供给源向多个搬运容器供给惰性气体的情况下也能使设备正常地运转的物品保管设备。本专利技术的物品保管设备包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，这里，所述物品保管设备设定了从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，所述控制装置构成为，能够将所述一组惰性气体供给部各自的控制状态在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以第一目标流量供给所述惰性气体的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以比所述第一目标流量小的第二目标流量供给所述惰性气体的状态，根据所述最大容许流量、所述第一目标流量以及所述第二目标流量确定的能够同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部的最大数为同时供给最大数，所述控制装置构成为，在判断为对象总数超过了所述同时供给最大数的情况下，将决定同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部中的所述同时供给最大数以下的所述惰性气体供给部控制为所述第一供给状态，对于剩余的所述惰性气体供给部执行开始延迟处理，所述开始延迟处理是使所述第一供给状态的开始延迟设定延迟时间的处理，其中，所述对象总数为决定同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部的总数。根据上述结构，通过执行开始延迟处理，能够避免对超过同时供给最大数的数量的惰性气体供给部同时期地指示用于控制为第一供给状态的指令的状态。其结果为，避免了变成惰性气体供给部中的惰性气体的流量低于作为目标流量的第一流量的状态，能够使设备正常地运转。对此加以说明，在搬运装置将搬运容器收纳于收纳部时，控制装置控制流量调节装置的动作，以便对收纳于收纳部的搬运容器开始供给惰性气体。此时，除了已经控制为第一供给状态的惰性气体供给部之外，还追加了被控制为第一供给状态的惰性气体供给部，因此，在已经控制为第一供给状态或第二供给状态的惰性气体供给部的目标流量与新控制为第一供给状态的惰性气体供给部的目标流量的合计流量超过了最大容许流量的情况下，它们中的惰性气体的供给量不再满足目标流量。另外，在临时停止了对所有惰性气体供给部的惰性气体的供给后再次开始供给的情况下，或者从手动运转切换到自动运转等，针对与收纳有搬运容器的所有收纳部对应的惰性气体供给部使开始第一供给状态的时机相同的情况下，为了将搬运容器内的气体用新的惰性气体迅速置换，而将所有的惰性气体供给部控制为第一供给状态，但是当目标流量的合计流量超过了最大容许流量的情况下，各惰性气体供给部中的惰性气体的供给量不再满足目标流量。与此相对，根据上述结构，将决定同时期地控制为第一控制状态的惰性气体供给部中的同时供给最大数以下的惰性气体供给部控制为第一供给状态来继续惰性气体的供给，而对于剩余的惰性气体供给部则使第一供给状态的开始延迟设定时间，因此即使在从惰性气体的供给源向多个搬运容器供给惰性气体的情况下，也能够避免变成惰性气体的供给量无法满足目标流量的状态，能够使设备正常地运转。本专利技术的物品保管设备的技术特征也能够应用于物品保管方法，本专利技术还能够以这样的方法为权利保护对象。在该物品保管方法中，也能够获得上述的物品保管设备的作用效果。即，本专利技术的物品保管方法是采用了物品保管设备的方法，所述物品保管设备包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，具有：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及供给源，对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，所述物品保管设备设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品保管设备，包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，其特征在于，所述物品保管设备具有供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，所述物品保管设备设定了从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，所述控制装置构成为，能够将所述一组惰性气体供给部各自的控制状态在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以第一目标流量供给所述惰性气体的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以比所述第一目标流量小的第二目标流量供给所述惰性气体的状态，根据所述最大容许流量、所述第一目标流量以及所述第二目标流量确定的能够同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部的最大数为同时供给最大数，所述控制装置构成为，在判断为对象总数超过了所述同时供给最大数的情况下，将决定同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部中的所述同时供给最大数以下的所述惰性气体供给部控制为所述第一供给状态，对于剩余的所述惰性气体供给部执行开始延迟处理，所述开始延迟处理是使所述第一供给状态的开始延迟设定延迟时间的处理，其中，所述对象总数为决定同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部的总数。...

【技术特征摘要】
2012.01.06 JP 2012-0015571.一种物品保管设备，包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，其特征在于，所述物品保管设备具有供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，所述物品保管设备设定了从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，所述控制装置构成为，能够将所述一组惰性气体供给部各自的控制状态在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以第一目标流量供给所述惰性气体的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便对收纳于所述收纳部的所述搬运容器以比所述第一目标流量小的第二目标流量供给所述惰性气体的状态，根据所述最大容许流量、所述第一目标流量以及所述第二目标流量确定的能够同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部的最大数为同时供给最大数，所述控制装置构成为，在判断为对象总数超过了所述同时供给最大数的情况下，将决定同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部中的所述同时供给最大数以下的所述惰性气体供给部控制为所述第一供给状态，对于剩余的所述惰性气体供给部执行开始延迟处理，所述开始延迟处理是使所述第一供给状态的开始延迟设定延迟时间的处理，其中，所述对象总数为决定同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部的总数。2.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，所述控制装置构成为，将延迟处理对象供给部控制为所述第二供给状态，所述延迟处理对象供给部是作为所述开始延迟处理的执行对象的所述惰性气体供给部。3.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，所述控制装置构成为，在判断为所述对象总数超过了所述同时供给最大数的情况下，将决定同时期地控制为所述第一供给状态的所述惰性气体供给部中的与所述同时供给最大数相同数量的所述惰性气体供给部控制为所述第一供给状态，而对于剩余的所述惰性气体供给部则执行所述开始延迟处理。4.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，所述物品保管设备设置有用于计算所述同时供给最大数的同时供给计算部，所述控制装置构成为，除了所述第一供给状态和所述第二供给状态，还能够将所述一组惰性气体供给部各自的控制状态切换为收纳前供给状态，所述收纳前供给状态是这样的供给状态：使所述流量调节装置动作，以便在到所述搬运容器收纳至所述收纳部为止之间的设定期间内，对设置于所述收纳部的所述排出口以比所述第一目标流量小的收纳前目标流量供给所述惰性气体，所述同时供给计算部构成为，根据所述最大容许流量、所述第一目标流量、所述第二目标流量以及所述收纳前目标流量，来计算所述同时供给最大数。5.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，所述物品保管设备设置有用于计算所述同时供给最大数的同时供给计算部，所述同时供给计算部构成为，计算所述同时供给最大数，以使针对所述一组惰性气体供给部的所有的所述惰性气体的目标流量的合计流量为所述最大容许流量以下。6.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，所述控制装置构成为，在所述开始延迟处理执行后，在判断为所述对象总数低于所述同时供给最大数的情况下，对于作为所述开始延迟处理的执行对象的所述惰性气体供给部即延迟处理对象供给部中的不超过所述对象总数与所述同时供给最大数之差的数量的所述延迟处理对象供给部，执行供给处理，该供给处理是控制为所述第一供给状态的处理。7.根据权利要求6所述的物品保管设备，其特征在于，所述控制装置构成为根据识别信息管理所述多个收纳部，并且构成为，控制所述搬运装置的动作，使得在被指示了将所述搬运容器收纳到所述收纳部的收纳指令时，按照根据所述识别信息设定的优先顺序，从所述多个收纳部选择收纳所述搬运容器的空闲状态的收纳部，并将所述搬运容器收纳到所选择的所述空闲状态的收纳部中，而且，所述控制装置构成为，按照所述收纳部的所述优先顺序选择作为所述供给处理的执行对象的所述延迟处理对象供给部。8.根据权利要求6所述的物品保管设备，其特征在于，所述物品保管设备设置有针对所述延迟处理对象供给部的每一个的待机时间计测部，该待机时间计测部用于计测自开始所述开始延迟处理起的时间即待机时间，所述控制装置构成为根据识别信息管理所述多个收纳部，并且构成为，控制所述搬运装置的动作，使得在被指示了将所述搬运容器收纳到所述收纳部的收纳指令时，按照根据所述识别信息设定的优先顺序，从所述多个收纳部选择收纳所述搬运容器的空闲状态的收纳部，并将所述搬运容器收纳到所选择的所述空闲状态的收纳部中，而且，所述控制装置构成为，从所述待机时间计测部计测到的所述待机时间长的所述延迟处理对象供给部起依次执行所述供给处理。9.一种使用了物...

【专利技术属性】
技术研发人员：高原正裕，上田俊人，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：