【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及物品保管设备以及使用了这样的物品保管设备的物品保管方法，所述物品保管设备包括:多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，向收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部供给惰性气体；以及控制装置，控制所述搬运装置的动作和所述惰性气体供给部的流量调节装置的动作。
技术介绍
作为上述的物品保管设备的一例，已知如下所述的带净化功能的包括物品保管架的物品保管设备。该物品保管架具有多个收纳部，该多个收纳部收纳用于容纳半导体晶片的FOUP等搬运容器，在各收纳部具有供给喷嘴，该供给喷嘴作为向搬运容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体的惰性气体供给部。在日本特开2010-16199号公报(专利文献I)中公开了这样的物品保管设备的一例，在该物品保管设备中，在搬运容器收纳于收纳部时和没有收纳于收纳部时，改变从供给喷嘴排出的惰性气体的流量。具体来说，在上述专利文献I中构成为，搬运容器没有收纳于收纳部时的惰性气体的流量小于搬运容器收纳于收纳部时的流量。即，搬运容器收纳于收纳部时的惰性气体的流量设定为向搬运容器内供给足够的...
【技术保护点】
一种物品保管设备，包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，其特征在于，所述物品保管设备包括将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，...
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。