物品保管设备以及物品运送设备制造技术

本发明专利技术的物品保管设备具备保管半导体晶片和标线片的保管架，以及入出库用运送装置。保管架具备收纳晶片收纳容器的第1收纳部，以及收纳标线片收纳容器的第2收纳部，晶片收纳容器收纳晶片，标线片收纳容器收纳标线片。入出库用运送装置具备把持部，把持形成在晶片收纳容器的上部的顶部凸缘，将晶片收纳容器支撑在悬吊状态，在标线片收纳容器的上部形成有凸缘部，用于容器运送装置以把持部把持，将标线片收纳容器支撑在悬吊状态。

【技术实现步骤摘要】
物品保管设备以及物品运送设备
本专利技术涉及一种物品保管设备以及具备该物品保管设备的物品运送设备，其中，物品保管设备设有保管半导体晶片以及标线片的保管架和入出库用运送装置。
技术介绍
上述这种物品保管设备在保管半导体晶片以及用于对半导体晶片进行曝光处理的标线片（reticule）中使用。即，保管的半导体晶片以及标线片在从保管架上出库后向曝光处理装置运送。另外，曝光处理后的半导体晶片向进行下一处理的处理装置运送，但也存在为了暂时保管而入库到保管架上保管的情况及保管在其它的保管架上的情况。而且，使用后的标线片一般再入库到保管架上保管。在日本国特开2000-91401号公报（专利文献1）中公开了这种物品保管设备的一例。根据专利文献1的结构，半导体晶片以收纳在晶片收纳容器中的状态保管在保管架的盒架上，标线片保持原状态或者以载置在标线片装载夹具上的状态保管在保管架的标线片架上。而且，在保管架上保管有形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器。入出库用运送装置具备保持晶片收纳容器的盒用把手，保持标线片装载夹具的标线片用把手，以及开闭形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器的盖的开闭机构。并且，在将晶片收纳容器出库之际，入出库用运送装置将晶片收纳容器从盒架向入出库口运送。而且，在将标线片出库之际，入出库用运送装置预先将形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器从保管架上取出并打开盖。然后，入出库用运送装置将从标线片架上取出的标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具收纳在打开了盖的空的收纳容器中，之后将该收纳容器关闭盖后向入出库口运送。在专利文献1中，针对入库作业没有详细的说明，但认为是在将晶片收纳容器入库之际，入出库用运送装置将晶片收纳容器从入出库口向盒架运送的结构。而且认为是如下的结构，即、在将标线片入库之际，入出库用运送装置从入出库口取出收纳了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器，卸下该取出的收纳容器的盖，从该卸下盖的容器中取出标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具并向标线片架运送。并且，入出库用运送装置在取出了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具后的空的收纳容器上加盖，将该空的收纳容器收纳在保管架上。而且，专利文献1中针对盒用把手支撑晶片收纳容器的结构、标线片用把手支撑标线片或者标线片装载夹具的结构没有具体地说明，但参照附图的记载，可认为盒用把手是载置支撑晶片收纳容器的结构，标线片用把手是载置支撑标线片或者标线片装载夹具的结构。另外，在专利文献1中，例示了在晶片收纳容器的上部装备有顶部凸缘。并且，虽然没有详细的说明，但记载了如下的物品运送设备，即、通过天花板行驶式无人运送车将收纳了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器向作为曝光处理装置的半导体曝光装置运送。在专利文献1的物品保管设备中，难以迅速地进行标线片的出库作业及入库作业，而且入出库用运送设备为复杂的结构，希望得到改进。即，在将标线片出库之际，需要将空的收纳容器从保管架上取出并打开盖的工序，将从标线片架上取出的标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具收纳到已开盖的空的收纳容器中的工序，关闭该收纳容器的盖的工序，以及将盖关闭后的收纳容器向入出库口运送的工序，所以不能够迅速地进行标线片的出库作业。而且，在将标线片入库之际，需要从入出库口取出收纳了标线片或者装置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器并打开该收纳容器的盖的工序，从开盖后的收纳容器中取出标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具并收纳在标线片架上的工序，关闭从取出了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器的盖的工序，以及将盖关闭后的收纳容器收纳在保管架上的工序，所以不能够迅速地进行标线片的入库作业。而且，由于在入出库用运送装置上要具备保持晶片收纳容器的盒用把手，保持标线片装载夹具的标线片用把手，以及开闭形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器的盖的开闭机构，所以入出库用运送装置的结构复杂。鉴于上述背景，希望实现既能够迅速地进行半导体晶片以及标线片的入出库作业、又能够谋求入出库用运送装置的结构简单化的物品保管设备。另外，也希望实现能够谋求设备整体的简单化的物品运送设备。
技术实现思路
本专利技术的物品保管设备具备保管半导体晶片和标线片的保管架，以及入出库用运送装置，在上述保管架上装备有第1收纳部，保管收纳上述半导体晶片的晶片收纳容器，在上述保管架上装备有第2收纳部，保管收纳上述标线片的标线片收纳容器，上述入出库用运送装置具备把持部，把持形成在上述晶片收纳容器的上部的顶部凸缘，将上述晶片收纳容器支撑在悬吊状态，在上述标线片收纳容器的上部形成有凸缘部，用于上述入出库用运送装置以上述把持部把持，将上述标线片收纳容器支撑在悬吊状态。即，半导体晶片以收纳在晶片收纳容器中的状态保管在保管架的第1收纳部中，标线片以收纳在标线片收纳容器中的状态保管在保管架的第2收纳部中。另外，一般来说，在晶片收纳容器中以在上下方向上排列的状态收纳有多片半导体晶片，在标线片收纳容器中收纳有一片标线片。并且，入出库用运送装置一边以把持部把持形成在晶片收纳容器的上部的顶部凸缘、将晶片收纳容器支撑在悬吊状态，一边进行晶片收纳容器的入出库作业。而且，入出库用运送装置一边以把持部把持形成在标线片收纳容器的上部的凸缘部、将标线片收纳容器支撑在悬吊状态，一边进行标线片收纳容器的入出库作业。即，入出库用运送装置一边将把持晶片收纳容器的顶部凸缘的把持部用作把持标线片收纳容器的凸缘部的把持部，一边进行晶片收纳容器或标线片收纳容器的运送。因此，在进行半导体晶片的入库或出库之际，只要通过入出库用运送装置一边将晶片收纳容器支撑在悬吊状态一边运送晶片收纳容器即可，同样，在进行标线片的入库或出库之际，只要通过入出库用运送装置一边将标线片收纳容器支撑在悬吊状态一边运送标线片收纳容器即可。其结果，能够迅速地进行半导体晶片的入出库作业及标线片的入出库作业。并且，在入出库用运送装置上，为了晶片收纳容器以及标线片收纳容器的运送而仅具备共用于晶片收纳容器的顶部凸缘以及标线片收纳容器的凸缘部的把持的把持部即可，所以能够谋求入出库用运送装置结构的简单化。若加以说明，则由于标线片的直径小于半导体晶片，所以俯视时标线片收纳容器比晶片收纳容器形状更小。在本专利技术中，着眼于能够将形态与晶片收纳容器的顶部凸缘同样的凸缘部形成在标线片收纳容器上，使标线片收纳容器具备形态与晶片收纳容器的顶部凸缘同样的凸缘部。这样一来，由于在入出库用运送装置上仅具备共用于晶片收纳容器的顶部凸缘以及标线片收纳容器的凸缘部的把持的把持部即可，所以能够谋求入出库运送装置结构的简单化。以下，对本专利技术的优选实施方式的例子进行说明。在本专利技术的物品保管设备的实施方式中，优选地是，分别设有上述晶片收纳容器用的第1入出库部，和上述标线片收纳容器用的第2入出库部，上述入出库用运送装置构成为在上述第1入出库部与上述第1收纳部之间运送上述晶片收纳容器，在上述第2入出库部与上述第2收纳部之间运送上述标线片收纳容器。根据上述结构，在将晶片收纳容器和标线片收纳容器保管在一个保管架上的结构中，由于晶片收纳容器与标线片收纳容器在相互不同的入出库部与相互不同的收纳部之间运送，所以能够避免误将晶片收纳容器作为标线片收纳容器进行入出库作业，或误将标本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品保管设备，具备保管半导体晶片和标线片的保管架，以及入出库用运送装置，其特征在于，在上述保管架上装备有第1收纳部，保管收纳上述半导体晶片的晶片收纳容器，在上述保管架上装备有第2收纳部，保管收纳上述标线片的标线片收纳容器，上述入出库用运送装置具备把持部，把持形成在上述晶片收纳容器的上部的顶部凸缘，将上述晶片收纳容器支撑在悬吊状态，在上述标线片收纳容器的上部形成有凸缘部，用于上述入出库用运送装置以上述把持部把持，将上述标线片收纳容器支撑在悬吊状态。

【技术特征摘要】
2012.03.27 JP 2012-0719151.一种物品保管设备，具备保管半导体晶片和标线片的保管架，以及入出库用运送装置，其特征在于，在上述保管架上装备有第1收纳部，保管收纳上述半导体晶片的晶片收纳容器，在上述保管架上装备有第2收纳部，保管收纳上述标线片的标线片收纳容器，上述入出库用运送装置具备把持部和容器判别传感器，上述把持部把持形成在上述晶片收纳容器的上部的顶部凸缘，将上述晶片收纳容器支撑在悬吊状态，上述容器判别传感器用于判别是上述把持部把持着上述晶片收纳容器，还是上述把持部把持着上述标线片收纳容器，上述标线片收纳容器的外形比上述晶片收纳容器小，上述容器判别传感器检测距由上述把持部把持着的容器的距离，在上述标线片收纳容器的上部形成有凸缘部，用于上述入出库用运送装置以上述把持部把持，将上述标线片收纳容器支撑在悬吊状态，分别设有上述晶片收纳容器用的第1入出库部，和上述标线片收纳容器用的第2入...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉冈秀郎，菅野崇道，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：