物品保管设备以及物品保管方法技术

本发明专利技术的物品保管设备具备：相对于收纳部运送运送容器的运送装置，向收纳在上述收纳部中的运送容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部，以及控制运送装置的动作和惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置。控制装置构成为，使与收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态为保管用供给状态，使与未收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态为供给停止状态，并且在将运送容器向收纳部收纳之际，在将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态之后，将运送容器向收纳部收纳。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备:收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置的动作和上述惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置。
技术介绍
在上述这种物品保管设备中，为了防止运送容器内的基板的污损而具备有向收纳在收纳部中的运送容器内供给惰性气体的洁净功能。作为具体例子，例如具备收纳收容半导体晶片的FOUP等运送容器的多个收纳部的保管架作为带有洁净功能的物品保管架而构成。该物品保管架的收纳部的每一个具备有作为惰性气体供给部的供给喷嘴，向运送容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体。在日本国特开2010-16199号公报(专利文献I)中公开了这种物品保管设备的一例，在该专利文献I中，记载了为了抑制设备的运行成本而尽量抑制惰性气体的消耗量的以下的技术。即，在运送容器收纳在收纳部中的情况和未收纳在收纳部中的情况下，能够变更从供给喷嘴排放的惰性气体的流量，使运送容器收纳在收纳部中的情况下的惰性气体的流量比运送容器未收纳在收纳部中的情况下的流量少。具体地说，在上述专利文献I中，运送容器收纳在收纳部中的情况下的惰性气体的流量设定成为了向运送容器内供给充分的惰性气体所必须的流量(称为第I流量)。另一方面，运送容器未收纳在收纳部中的情况下的排放流量设定成比上述第I流量少的流量(称为第2流量)，以防止颗粒或水蒸气等杂物粒子在上述惰性气体供给部上积蓄。这样一来，在运送容器未收纳在收纳部中的期间，能够防止在惰性气体供给部上滞留成为基板污损的原因的杂物粒子。这样，在运送容器收纳在收纳部中后，能够相对于该运送容器尽量供给纯粹的惰性气体，并谋求了设备运行成本的降低。但是，在上述专利文献I中，在运送容器未收纳在收纳部中的情况下，平时从供给喷嘴向空间排放第2流量的惰性气体。因此，由于原本应向运送容器供给的惰性气体未向运送容器供给而向空间排放，所以存在大量浪费了惰性气体的问题。
技术实现思路
鉴于上述背景，希望实现能够抑制惰性气体的使用量并且能够防止运送容器内的基板污损的物品保管设备。本专利技术所涉及的物品保管设备具备:收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具有排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，其中，上述控制装置构成为，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，另外，上述控制装置构成为，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态之后，将上述运送容器向上述收纳部收纳。根据上述结构，由于与收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部被切换成保管用供给状态，所以能够从惰性气体供给部相对于收纳在该收纳部中的运送容器供给惰性气体。而且，由于与未收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部被切换成供给停止状态，所以不从惰性气体供给部相对于未收纳有惰性气体的供给对象的运送容器的收纳部供给惰性气体，能够抑制不必要地使用惰性气体。而且，在将运送容器向收纳部收纳之际，将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态，在从排放口排放出惰性气体后将运送容器向收纳部收纳，因此，即使在将惰性气体供给部向供给停止状态切换的期间在该惰性气体供给部中滞留有杂物粒子，也能够在将运送容器向收纳部收纳之前通过以收纳前供给状态供给的惰性气体对惰性气体供给部进行净化，能够防止其杂物粒子从惰性气体供给部进入运送容器内。因此，即使在平时不预先向未收纳有运送容器的收纳部排放惰性气体，也能够防止杂物粒子进入运送容器，防止运送容器内的基板的污损。这样，根据上述结构，能够抑制惰性气体的使用量并防止运送容器内的基板的污损。本专利技术所涉及的物品保管设备的技术特征也能够适用于物品保管方法，本专利技术也能够将这种方法作为权利的对象。在该物品保管方法中，也能够得到上述物品保管设备所涉及的作用和效果。S卩，本专利技术所涉及的物品保管方法利用如下的物品保管设备，该物品保管设备具备:收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具备排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，上述物品保管方法包括由上述控制装置执行的以下的工序:第I控制工序，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，第2控制工序，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态后，将上述运送容器向上述收纳部收纳。以下，对本专利技术的优选实施方式的例子进行说明。在本专利技术所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，在上述运送容器被运送到上述收纳部之前的期间的某一时刻实现的上述运送装置的动作状态是预先作为惰性气体供给开始状态设定的，上述控制装置构成为，以上述运送装置的动作状态成为了上述惰性气体供给开始状态为条件，控制上述流量调节装置的动作，将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态，之后，在经过设定时间之前维持上述收纳前供给状态。根据上述结构，当运送装置的动作状态成为惰性气体供给开始状态时，与运送容器的收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部从供给停止状态切换成收纳前供给状态，之后，在经过规定时间之前惰性气体以收纳前供给状态从排放口排放。因此，由于在由运送装置将运送容器向收纳部收纳之际的恰当时期，惰性气体在整个设定时间内从排放口排放，所以能够与运送容器被收纳的时机相配合而恰当地对处于供给停止状态的惰性气体供给部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具有排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，其特征在于，上述控制装置构成为，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，另外，上述控制装置构成为，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态之后，将上述运送容器向上述收纳部收纳。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高原正裕，上田俊人，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：