【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备:收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置的动作和上述惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置。
技术介绍
在上述这种物品保管设备中，为了防止运送容器内的基板的污损而具备有向收纳在收纳部中的运送容器内供给惰性气体的洁净功能。作为具体例子，例如具备收纳收容半导体晶片的FOUP等运送容器的多个收纳部的保管架作为带有洁净功能的物品保管架而构成。该物品保管架的收纳部的每一个具备有作为惰性气体供给部的供给喷嘴，向运送容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体。在日本国特开2010-16199号公报(专利文献I)中公开了这种物品保管设备的一例，在该专利文献I中，记载了为了抑制设备的运行成本而尽量抑制惰性气体的消耗量的以下的技术。即，在运送容器收纳在收纳部中的情况和未收纳在收纳部中的情况下，能够变更从供给喷嘴排放的惰性气体的流量，使运送容器收纳在收纳部中的情...
【技术保护点】
一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具有排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，其特征在于，上述控制装置构成为，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从...
【技术特征摘要】
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