【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒,其特征在于包括盒体(1)和盒盖(2),所述盒体(1)上设有舱室平台,舱室平台为一个平滑的圆形平台,平台的直径大于薄晶圆片的直径,沿舱室平台(3)外周的部分弧将盒体分为高低两部分,在盒体低的部分设有取放口(4),取放口(4)为一条设置在舱室平台外侧的弧形凹槽,所述凹槽紧挨着舱室平台(3),取放口(4)的高度大于舱室平台(3)的高度,所述盒盖(2)也分为高低两部分,盒盖(2)低的部分与盒体(1)高的部分相适配,盒盖(2)高的部分与盒体(1)低的部分相适配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:彭志农,潘宏菽,付兴昌,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第十三研究所,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。