【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于连续地沉积薄膜的设备，且更具体地涉及这样的用于连续地沉积薄膜的设备，其中有机材料被长时间地蒸发并且因此作为薄膜沉积在基板上。
技术介绍
有机发光显示装置是代表性的平板显示装置，该有机发光显示装置具有这样的结构，其中包括有机发光层的有机薄膜被夹设在基板上的金属阴极与透明阳极之间。因此，在制造具有有机发光显示装置的基板时，存在沉积有机材料以形成包括有机发光层的有机薄膜的过程。为了在基板上沉积这种有机薄膜，通常采用真空热沉积方法。真空热沉积方法使用加热器等来加热设置在薄膜沉积设备的真空腔中的有机材料，并且朝向所述基板蒸发被容纳的有机材料，由此在基板上形成具有预定厚度的有机薄膜。图1示出了常规薄膜沉积设备的示例。参考图1，常规薄膜沉积设备包括:坩埚10，所述坩埚用于容纳待被沉积在基板上的有机材料；加热器20，所述加热器用于加热坩埚10中的原材料；传送单元30，所述传送单元在所述加热器20中上下移动所述坩埚10 ;以及喷射孔40，所述喷射孔用于喷射蒸发后的有机材料。然而，常规薄膜沉积设备具有如下问题:有机材料必须被频繁地填充，这是因为能够被容纳在坩埚10...
【技术保护点】
一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：材料存储单元，所述材料存储单元存储有机材料；材料预热单元，所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度；材料传送单元，所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置在所述材料预热单元中的所述坩埚；材料蒸发单元，所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料；以及坩埚传送单元，所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李亨培，郑基泽，赵晃新，尹成勋，
申请(专利权)人：SNU精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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