用于连续地沉积薄膜的设备制造技术

公开了一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：材料存储单元；材料预热单元；材料传送单元；材料蒸发单元；以及坩埚传送单元。所述材料存储单元存储有机材料。所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度。所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置于所述材料预热单元中的所述坩埚中。所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料。所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于连续地沉积薄膜的设备，且更具体地涉及这样的用于连续地沉积薄膜的设备，其中有机材料被长时间地蒸发并且因此作为薄膜沉积在基板上。
技术介绍
有机发光显示装置是代表性的平板显示装置，该有机发光显示装置具有这样的结构，其中包括有机发光层的有机薄膜被夹设在基板上的金属阴极与透明阳极之间。因此，在制造具有有机发光显示装置的基板时，存在沉积有机材料以形成包括有机发光层的有机薄膜的过程。为了在基板上沉积这种有机薄膜，通常采用真空热沉积方法。真空热沉积方法使用加热器等来加热设置在薄膜沉积设备的真空腔中的有机材料，并且朝向所述基板蒸发被容纳的有机材料，由此在基板上形成具有预定厚度的有机薄膜。图1示出了常规薄膜沉积设备的示例。参考图1，常规薄膜沉积设备包括:坩埚10，所述坩埚用于容纳待被沉积在基板上的有机材料；加热器20，所述加热器用于加热坩埚10中的原材料；传送单元30，所述传送单元在所述加热器20中上下移动所述坩埚10 ;以及喷射孔40，所述喷射孔用于喷射蒸发后的有机材料。然而，常规薄膜沉积设备具有如下问题:有机材料必须被频繁地填充，这是因为能够被容纳在坩埚10中的有机材料的量有限，并且必须在每个填充过程时停止操作该设备。与此同时，可能考虑到增加坩埚10的容量的方法。然而，不仅不可能无限地增加坩埚10的容量，而且必须采用该设备的相关部件，以执行与坩埚10的增加容量相对应的增强性能。因此，在扩大该设备的尺寸以及增加制造成本方面出现问题。同样，如果坩埚10的容量增加，那么大量有机材料被容纳在坩埚10中。在该情况下，坩埚10中的有机材料由加热器20长时间加热。因此，出现有机材料自身有可能变性的问题。
技术实现思路
因此，构想到本专利技术以解决前述问题，并且本专利技术的一个方面在于提供一种用于连续地沉积薄膜的设备，其中容纳有机材料的坩埚被制造成不增加坩埚的容量，而是被更换为具有预定容量，由此连续地供应有机材料、延长该设备的操作时间、以及合适地保持坩埚的量以防止坩埚中的有机材料由热量而引起变性。根据本专利技术，提供一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括:材料存储单元，所述材料存储单元存储有机材料；材料预热单元，所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度；材料传送单元，所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置于所述材料预热单元中的所述坩埚；材料蒸发单元，所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料；以及坩埚传送单元，所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。所述材料存储单元可包括:料斗，所述料斗存储所述有机材料；以及料斗振动单元，所述料斗振动单元向所述料斗赋予预定大小的振动。所述材料预热单元可包括:第一容纳部和第二容纳部，所述第一容纳部和第二容纳部均设置有加热器并且容纳所述坩埚；以及位置设定单元，所述位置设定单元使得所述第一容纳部或所述第二容纳部被选择性地放置在所述材料传送单元和所述材料蒸发单元之间的任意位置处。所述位置设定单元能够使得所述第一容纳部或所述第二容纳部在传送位置、备用位置和预热位置之间旋转，所述传送位置用于从所述材料传送单元接收所述有机材料，所述第一容纳部或所述第二容纳部在所述备用位置备用以在所述材料蒸发单元下方被运入或运出所述材料蒸发单元，并且所述预热位置被设置在所述传送位置和所述备用位置之间并且用于预热所述坩埚。所述材料预热单元还能够包括预热传感器，所述预热传感器感测由所述第一容纳部或所述第二容纳部预热的所述坩埚中的所述有机材料的温度。所述材料传送单元能够包括:桶,所述桶暂时容纳从所述材料存储单元供应的所述有机材料；以及传送单元，所述传送单元使得所述桶在填充位置和传送位置之间往复运动，所述填充位置用于在所述材料存储单元下方接收来自所述材料存储单元的所述有机材料，所述传送位置用于在所述材料预热单元上方将所述有机材料传送到所述材料预热单元。所述桶包括设置在该桶的底部上的门单元，所述门单元在所述填充位置处关闭以保持所述有机材料并且在所述传送位置处打开以排出所述有机材料。所述材料蒸发单元可包括:用于容纳所述坩埚的主体；用于围绕所述主体的横向侧的加热器；以及形成于所述主体的顶部上的喷嘴，所述喷嘴用于喷射在从所述加热器接收热量时蒸发的所述有机材料。所述材料蒸发单元还可包括传感器，该传感器用于感测从所述坩埚蒸发的所述有机材料的蒸发速度。所述设备还可包括防污染单元，所述防污染单元被安装在所述材料蒸发单元上方并且防止所述材料存储单元、所述材料传送单元、所述材料预热单元和所述材料蒸发单元被蒸发后的所述有机材料污染。附图说明从结合附图对示例性实施方式的如下描述将清楚并更容易地理解本专利技术的上述和/或其他方面，在附图中:图1示出了用于沉积薄膜的常规设备的示例；图2示出了根据本专利技术的示例性实施方式的用于连续地沉积薄膜的设备；图3示出了图2的设备中的材料预热单元；图4是用于说明图2的设备中的材料预热单元的操作原理的视图5是用于说明图2的设备中的材料传送单元的操作原理的视图；以及图6示出了图2的设备中的材料蒸发单元。具体实施例方式在下文中，将参考附图来描述根据本专利技术的用于连续地沉积薄膜的设备的示例性实施方式。图2示出了根据本专利技术的示例性实施方式的用于连续地沉积薄膜的设备；图3示出了图2的设备中的材料预热单元；图4是用于说明图2的设备中的材料预热单元的操作原理的视图；图5是用于说明图2的设备中的材料预热单元的操作原理的视图；以及图6示出了图2的设备中的材料蒸发单元。参考图2至图6，根据本专利技术的示例性实施方式的用于连续地沉积薄膜的设备100用于在坩埚中蒸发有机材料，并且在将该有机材料连续地供应到坩埚时将该有机材料作为薄膜沉积在基板上，所述设备包括材料存储单元110、材料预热单元120、材料传送单元130、材料蒸发单元140、坩埚传送单元150以及防污染单元160。材料存储单元110包括料斗111和料斗振动单元112，待被沉积在基板上的有机材料以固态或液态的形式存储在该材料存储单元中。料斗111在室温下存储对应于大约30天或更多天的量的有机材料，并且在其下侧具有开口，以将预定量的有机材料(例如，大约80cc)传送到将在下文描述的桶131。料斗振动单元112向料斗111赋予预定大小的振动。在该实施方式中，料斗111沿左右方向振动。如果有机材料在无任何振动的情况下被传送到桶131，那么填充在桶131中的有机材料的顶表面变得带肋或成沟状，且因此具有不均匀的表面区域。有机材料的蒸发量与边界表面和外界的面积成比例。因此，如果有机材料在边界表面和外界的面积方面改变，那么将在下文描述的材 料蒸发单元140不能够正确地控制有机材料的蒸发量，由此导致在有机薄膜的质量方面(例如，沉积在基板上的有机薄膜的厚度)的问题。因此，料斗振动单元112的振动收集待被传送到桶131的预定量的有机材料，并且将预定量的有机材料填充在桶131中。如果有机材料的传送量不均匀，那么材料蒸发单元140由于残留有机材料而不能正确地控制蒸发量，由此导致有机薄膜的质量方面(例如，沉积在基板上的有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：材料存储单元，所述材料存储单元存储有机材料；材料预热单元，所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度；材料传送单元，所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置在所述材料预热单元中的所述坩埚；材料蒸发单元，所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料；以及坩埚传送单元，所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李亨培，郑基泽，赵晃新，尹成勋，
申请(专利权)人：SNU精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：