【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种真空处理装置，其传送长的片状基材使之通过真空处理室，在该真空处理室对片状基材施加规定处理。
技术介绍
由于长条状树脂制成的片状基材有弹性，也有良好的加工性，所以一般公知的是在其表面形成规定的金属膜或氧化物膜等规定薄膜，或进行热处理来制成电子部件或光学部件。以往，作为在真空中对这种片状基材进行规定处理的真空处理装置，已知的是具有真空处理室，所述真空处理室具有冷却滚筒和处理单元(溅射成膜用的阴极单元)，所述冷却滚筒上卷绕着一部分长的片状基材，所述处理单元配置在该冷却滚筒的周围，在该真空处理室的上游侧和下游侧分别相连设置有真空辅助室，上游侧的真空辅助室收纳有卷绕着片状基材的送料辊，并且下游侧的真空辅助室收纳有卷料辊(例如参照专利文献I)。在上述以往例中 ，在真空处理室的上部用隔板形成有分隔的空间，该空间内固定配置有导引片状基材的引导辊。因此，两真空辅助室通过其上部侧面的通孔与真空处理室相连设置。此处，根据片状基材的处理，为了在基材单面上形成多层膜，或者为了提高生产率，在冷却滚筒的周围彼此隔绝地设置多个处理单元。在上述以往例中，用隔板分隔真空处理室设置...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.10.20 JP 2010-2358301.一种真空处理装置，其特征在于: 具有: 真空处理室，其具有滚筒，所述滚筒卷有长的片状基材的一部分；多个辊，其配置在该滚筒的下方，将片状基材从上游侧导引向该滚筒，并且将所述片状基材从该滚筒送到下游侧；以及至少一个处理单元，其设置在这些辊的上方且在滚筒的周围； 上游侧的真空辅助室，其具有送料辊，设与滚筒的轴线方向正交的方向为相连设置方向，所述送料辊经连接管与真空处理室的上游侧相连设置，其上卷绕有片状基材；以及至少一个引导辊，其使从该送料辊送出的片状基材通过连接管内送到上述真空处理室内； 以及下游侧的真空辅助室，其具有卷料辊，所述卷料辊经连接管与真空处理室的下游侧相连设置，其卷取片状基材；以及至少一个辊，其将从上述真空处理室经连接管内送来的片状基材导引到卷料辊； 上述真空处理室构成为将基板载置在设置于地面的架台上，将下面开口的第一箱体从该下面侧设置在该基板上，在该第一箱体的所述轴线一侧面上形成开口...
【专利技术属性】
技术研发人员：藤本信也，林信博，广野贵启，多田勋，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：
国别省市：
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