真空处理装置制造方法及图纸

提供一种实现装置小型化且生产率高、成本低的真空处理装置。传送长的带状基材S使其通过真空处理室（1），在该真空处理室（1）内对带状基材实施规定处理。在真空处理室（1）中设置单个的处理单元（3），设置有送出辊（6）和卷取辊（7）的真空辅助室（2）与真空处理室（1）相连设置。在真空处理室内跨处理单元的两侧上具有一对第一辊单元（4），每个第一辊单元具有等间隔配置的多个辊（42），将各辊在轴向上彼此错开配置，带状基材以螺旋状缠绕在两辊单元的各辊上。还具有移位装置（5），以与处理单元相对的带状基材的一面为表面，当带状基材的里面与处理单元相对时所述移位装置（5）将该带状基材的一部分以规定幅度向该处理单元侧移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本发 明涉及一种真空处理装置，其传送长的带状基材使其通过真空处理室，在该真空处理室中对该带状基材实施规定的处理。
技术介绍
由于长条状树脂制成的带状基材具有弹性，也具有良好的加工性，所以一般公知的是在其表面形成规定的金属膜或氧化物膜等规定薄膜，或进行热处理或等离子体处理来制成电子部件或光学部件。根据用途，有时对带状基材的表里两面施加相同的规定处理。作为这样的对带状基材的表里两面实施规定处理的装置，已知的一种处理装置设置有彼此相连的第一处理室和第二处理室，所述第一处理室在具有送出辊、卷取辊以及送出并传送带状基材的传送装置的传送室内具有对带状基材的单面(表面)进行规定处理，所述第二处理室具有对单面已进行了处理的带状基材的另一面(里面)实施与前述相同处理的另一处理装置(例如参照专利文献I)。然而，在上述的以已知例子中，为了在单独的处理室中对带状基材的表里两面进行处理，不仅会使装置本身变得大型化，而且会使部件数量增加，导致成本上升。而且，使从送出辊送出的带状基材通过两个真空处理室后直到卷到卷取辊上的路径太长，生产率也差。现有技术文献专利文献专利文献1:专利公开2009 - 13473号公报本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：广野贵启，多田勋，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：
国别省市：