真空镀膜系统及其镀膜方法技术方案

本发明专利技术提供一种能够在真空泵开始工作前减小真空室的压强，起到为真空泵节省能耗的作用的真空镀膜系统及镀膜方法。本发明专利技术的真空镀膜系统，包括具有镀膜部、真空室以及真空泵的真空镀膜机，其特征在于，还包括：辅助减压装置，用于在真空泵工作前，对真空室内的空气进行抽吸，与真空室达到气压平衡状态；和控制部，用于对真空镀膜机和辅助减压装置进行控制，其中，辅助减压装置含有：辅助减压舱，为密闭腔体，体积与真空室的体积相对应；连接管，一端与真空室相连通，另一端与辅助减压舱相连通；以及阀门，安装在连接管上，控制部，用于控制真空镀膜机工作，和阀门的开启、关闭，并控制真空泵对真空室进行抽吸至真空状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空镀膜系统和使用该真空镀膜系统来对多批基片进行镀膜的镀膜方法。
技术介绍
在现有的真空镀膜系统中，都包括具有镀膜部、真空室和真空泵的真空镀膜机。当使用这种真空镀膜机对多批基片进行镀膜时，在镀膜前操作员将真空室的室门打开把基片放入真空室中，再关上室门，然后使用真空泵对真空室进行抽吸至真空状态，在镀膜完成后操作员需要把真空室的舱门打开，将镀膜完成的基片取出，再放入另一批基片并关上室门，再采用真空泵对真空室进行抽吸。但是在上述过程中，真空泵在工作前，真空室内部压强均为标准大气压强，这样每次采用真空镀膜机对一批基片进行镀膜，真空泵都必须对已达到标准大气压的真空室进行抽吸至达到真空状态，非常耗能。
技术实现思路
·鉴于以上问题，本专利技术的目的在于提供一种能够在真空泵开始工作前减小真空室的压强，起到为真空泵节省能耗的作用的真空镀膜系统及镀膜方法。本专利技术为了达到以上的目的，采用了以下结构。本专利技术提供一种真空镀膜系统，包括具有镀膜部、真空室以及对该真空室内的空气进行抽吸至真空状态的真空泵的真空镀膜机，其特征在于，还包括:辅助减压装置，用于在真空泵工作前，对真空室内的空气进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜系统，包括具有镀膜部、真空室以及对该真空室内的空气进行抽吸至真空状态的真空泵的真空镀膜机，其特征在于，还包括：辅助减压装置，用于在所述真空泵工作前，对所述真空室内的空气进行抽吸，与所述真空室达到气压平衡状态；和控制部，用于对所述真空镀膜机和所述辅助减压装置进行控制，其中，所述辅助减压装置含有：辅助减压舱，为密闭腔体，体积与所述真空室的体积相对应；连接管，一端与所述真空室相连通，另一端与所述辅助减压舱相连通；以及阀门，安装在所述连接管上，所述控制部，用于控制所述真空镀膜机工作，和所述阀门的开启、关闭，并基于所述辅助减压舱的体积与所述真空室的体积的对应关系控制所述真空泵对所述真空室进行...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜系统，包括具有镀膜部、真空室以及对该真空室内的空气进行抽吸至真空状态的真空泵的真空镀膜机，其特征在于，还包括: 辅助减压装置，用于在所述真空泵工作前，对所述真空室内的空气进行抽吸，与所述真空室达到气压平衡状态；和 控制部，用于对所述真空镀膜机和所述辅助减压装置进行控制， 其中，所述辅助减压装置含有:辅助减压舱，为密闭腔体，体积与所述真空室的体积相对应；连接管，一端与所述真空室相连通，另一端与所述辅助减压舱相连通；以及阀门，安装在所述连接管上， 所述控制部，用于控制所述真空镀膜机工作，和所述阀门的开启、关闭，并基于所述辅助减压舱的体积与所述真空室的体积的对应关系控制所述真空泵对所述真空室进行抽吸至真空状态。2.一种使用如权利要求1所述的真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：仲梁维，丛凤杰，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：