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用于连续地沉积薄膜的设备制造技术
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下载用于连续地沉积薄膜的设备的技术资料
文档序号:8903775
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公开了一种用于连续地沉积薄膜的设备,所述设备包括:材料存储单元;材料预热单元;材料传送单元;材料蒸发单元;以及坩埚传送单元。所述材料存储单元存储有机材料。所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度。所述材...
该专利属于SNU精密股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过SNU精密股份有限公司授权不得商用。
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