搬送机械手制造技术

本发明专利技术提供一种可降低升降驱动器件中所需的升降驱动力的搬送机械手。本发明专利技术的搬送机械手包含：第1连杆部件(2)，可绕着第1轴线(L1)旋转地构成；第2连杆部件(3)，可绕着位于与第1轴线相距指定距离的位置上的第2轴线(L2)旋转地构成；保持部件(7)，可绕着位于与第2轴线相距指定距离的位置上的第3轴线(L3)旋转且可保持物品地构成；及升降驱动器件(4)，用来至少升降驱动保持部件。第1连杆部件、第2连杆部件及保持部件按照该顺序连结而构成吊臂连杆机构，升降驱动器件配置在第1连杆部件与保持部件之间而构成吊臂连杆机构的一部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用来搬送物品的搬送机械手，尤其适于如用于太阳电池板的大型玻璃基板那样的较重的基板的搬送。
技术介绍
为了对于如化学蒸镀装置(CVD (Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)装置)那样的基板处理装置，搬入应处理的基板并搬出处理结束的基板，而使用各种搬送机械手。作为被处理的基板的一例，存在太阳电池板中使用的方形的玻璃基板，其大小为一边超过2m，为大型的重物。在水平状态下将如上文所述的大型的玻璃基板收容在支架(rack)上的情况下，因重力而使其中央部向下方弯曲。因此，为了将多块玻璃基板收容于支架上，必需在上下方向上确保充分的间隔，以防止玻璃基板彼此的接触。其结果，支架整体的高度变高，为了与该高度对应，在搬送机械手中，也必需对于用来保持基板的基板保持部件的升降动作而确保其在高度方向上的充分的移动距离。以往，为了在基板保持部件的升降动作中确保充分的移动距离，已知有设有用来升降驱动基板保持部件的升降驱动器件的搬送机械手。作为如上文所述的升降驱动器件，已知有使安装着机械臂的基端部的旋转主轴升降的类型(专利文献I)。而且，已知有包含沿上下方向延伸的柱状部件及可沿着该柱状部件升降的升降部件、且在升降部件上安装着基板保持部件的类型(专利文献2、3)。
技术介绍
文献专利文献专利文献1:日本专利特开平5-277970号公报专利文献2:日本专利特开2001-274218号公报专利文献3:W02008/007516A
技术实现思路
然而，所述的以往的搬送机械手的构成是使包含第I连杆部件、第2连杆部件及基板保持部件的机械臂(水平多关节臂)的整体升降，因此，存在为了升降驱动机械臂而需要较大的驱动力的问题(专利文献1、2、3)。尤其，为了搬送如大型玻璃基板那样的重物，必需利用具有充分的刚性的部件来构成机械臂，因此，臂重量必然变大，升降驱动器件中所需的升降驱动力越发变大。而且，在以往的技术中，使用来使机械臂的升降驱动器件在水平面内移动的机构独立于包含第I连杆部件、第2连杆部件及基板保持部件的连杆机构而设置(引用文献2、3)。因此，存在如下问题:为了构成搬送机械手而需要的部件的件数增加，搬送机械手的构造复杂化，而且，搬送机械手的占有面积(空间)增大。本专利技术是鉴于所述情况而完成，其目的在于提供一种可降低升降驱动器件中所需的升降驱动力的搬送机械手。而且，本专利技术的目的在于提供一种能够一方面极力抑制机械手构造的复杂化一方面实现用来使搬送机械手的升降驱动器件在水平面内移动的机构的搬送机械手。为了解决所述课题，本专利技术的搬送机械手的特征在于其包含:第I连杆部件，可绕着第I轴线旋转地构成；第2连杆部件，可绕着位于与所述第I轴线相距指定距离的位置上的第2轴线旋转地构成；保持部件，可绕着位于与所述第2轴线相距指定距离的位置上的第3轴线旋转且可保持物品地构成；及升降驱动器件，用来至少升降驱动所述保持部件；且，所述第I连杆部件、所述第2连杆部件及所述保持部件按照该顺序连结而构成吊臂连杆机构，所述升降驱动器件配置在所述第I连杆部件与所述保持部件之间而构成所述吊臂连杆机构的一部分。而且，优选的是所述升降驱动器件被用于所述第2连杆部件与所述保持部件的连结。而且，优选的是所述升降驱动器件包含固定地设置在所述第2连杆部件上的柱状部件、及相对所述柱状部件可升降地设置的升降部件，所述保持部件可绕着所述第3轴线旋转地设置在所述升降部件上。而且，优选的是所述升降驱动器件包含:柱状部件，可绕着所述第3轴线旋转地设置在所述第2连杆部件上；及升降部件，相对所述柱状部件可升降地设置；且，所述保持部件固定地设置在所述升降部件上。而且，优选的是所述升降驱动器件被用于所述第I连杆部件与所述第2连杆部件的连结。而且，优选的是所述升降驱动器件包含固定地设置在所述第I连杆上的柱状部件、及相对所述柱状部件可升降地设置的升降部件，所述第2连杆部件可绕着所述第2轴线旋转地设置在所述升降部件上，所述保持部件可绕着所述第3轴线旋转地设置在所述第2连杆部件上。而且，优选的是所述升降驱动器件包含:柱状部件，可绕着所述第2轴线旋转地设置在所述第I连杆部件上；及升降部件，相对所述柱状部件可升降地设置；且，所述第2连杆部件固定地设置在所述升降部件上。而且，优选的是所述第I轴线与所述第2轴线的所述指定距离和所述第2轴线与所述第3轴线的所述指定距离相等。而且，优选的是以包含在动作范围控制下的最后退位置保持着物品的所述保持部件、由所述保持部件保持的所述物品、所述第I连杆部件、所述第2连杆部件、所述升降驱动器件的区域配置在以从所述第I轴线至所述物品或所述保持部件的最远点为止的距离为半径而绕着所述第I轴线旋转I周时的旋转区域内的方式，选择所述保持部件、所述第I连杆部件、所述第2连杆部件、所述升降驱动器件的各尺寸、所述升降驱动器件的方向。根据本专利技术的搬送机械手，第I连杆部件、第2连杆部件及保持部件按照该顺序连结而构成吊臂连杆机构，且升降驱动器件配置在第I连杆部件与保持部件之间而构成吊臂连杆机构的一部分，因此，至少可将第I连杆部件从升降驱动器件的升降对象中排除，因此，可降低升降驱动器件中所需的升降驱动力。而且，可通过构成机械臂的第I连杆部件及/或第2连杆部件的旋转动作来实施升降驱动器件在水平面内的移动，因此，能够一方面极力抑制机械手构造的复杂化一方面实现升降驱动器件的水平移动。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的搬送机械手的图，(a)为俯视图，(b)为侧视图。图2是图1所示的搬送机械手的概略构成图。图3是表示图1所示的搬送机械手的内部构造的概略的图。图3A是表示图1所示的搬送机械手的内部构造的其他例的概略的图。图4是用来对图1所示的搬送机械手的动作进行说明的图，(a)表示使基板保持部在动作范围限制控制下为最后退的状态，(C)表示使基板保持部在动作范围限制控制下为最前进的状态，(b)表示(a)的状态与(C)的状态的中间的状态。图4A是用来对图1所示的搬送机械手中的保持着基板的机械臂的自转动作进行说明的图，(a)表示朝向一个支架的方向的状态，(b)表示朝向另一个支架的方向的状态。图5是表示本专利技术的其他实施方式的搬送机械手的图，(a)为俯视图，(b)为侧视图。图6是图5所示的搬送机械手的概略构成图。图7是表示图5所示的搬送机械手的内部构造的概略的图。图8是用来对图5所示的搬送机械手的动作进行说明的图，(a)表示使基板保持部在动作范围限制控制下为最后退的状态，(C)表示使基板保持部在动作范围限制控制下为最前进的状态，(b)表示(a)的状态与(C)的状态的中间的状态。图8A是用来对图5所示的搬送机械手中的保持着基板的机械臂的自转动作进行说明的图，(a)表示朝向一个支架的方向的状态，(b)表示朝向另一个支架的方向的状态。图9是表示本专利技术的又一其他实施方式的搬送机械手的图，(a)为俯视图，(b)为侧视图。图10是图9所示的搬送机械手的概略构成图。图11是表示图9所示的搬送机械手的内部构造的概略的图。图12是用来对图9所示的搬送机械手的动作进行说明的图，(a)表示使基板保持部在动作范围限制控制下为最后退的状态，(C)表示使基板保持部在动作范围限制控制下为最前进的状态，(b)表示(a)的状态与(C本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤烈，小野茂树，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：
国别省市：