【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空镀膜装置。
技术介绍
在真空镀膜装置中，通常将待镀膜的基片放入真空室内，并由安装在基片承载部上的夹具对基片进行夹持，然后由转动轴带动基片承载部转动，并由离子源对置放在镀膜材料置放部的镀膜材料进行轰击，使镀膜材料溅射并均匀沉积在基片表面。但是在上述镀膜过程中，镀膜材料不仅被溅射到基片上，而且也会被溅射到基片承载部上，在多次镀膜后基片承载部上就会沉积相当多的镀膜材料，使得镀膜材料得不到充分地利用，这就造成了镀膜材料的浪费，同时，由于这些镀膜材料通常为昂贵的金属材料,因而也大大增加了镀膜的成本。
技术实现思路
鉴于以上问题点，本专利技术的目的在于提供一种能够充分利用镀膜材料进行镀膜的真空镀膜装置。本专利技术为了达到以上的目的，采用了以下结构。本专利技术的一种真空镀膜装置，用于将镀膜材料镀到基片上，含有:真空室、转动轴、镀膜材料置放部支撑座以及对基片进行夹持的复数个夹具，其特征在于，还具有:两个镀膜锅，一个作为基板，另一个作为用于置放镀膜材料的镀膜材料置放部；和一个基板承载部，与转动轴相连，用于承载作为基板的镀膜锅和装载复数个夹具，其中，镀膜锅包括:锅...
【技术保护点】
一种真空镀膜装置，用于将镀膜材料镀到基片上，含有：真空室、转动轴、镀膜材料置放部支撑座以及对所述基片进行夹持的复数个夹具，其特征在于，还具有：两个镀膜锅，一个作为基板，另一个作为用于置放所述镀膜材料的镀膜材料置放部；和一个基板承载部，与所述转动轴相连，用于承载作为基板的所述镀膜锅和装载所述复数个夹具，其中，所述镀膜锅包括：锅底板、与该锅底板固定相连并环绕所述锅底板设置的锅身，所述锅底板含有：定位凸台、与所述夹具的形状相对应并且个数相等的复数个贯穿孔、第一连接部以及第二连接部，所述第一连接部与所述基板承载部相对应，用于当所述镀膜锅作为基板时与所述基板承载部相连接，所述第二连接...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置，用于将镀膜材料镀到基片上，含有:真空室、转动轴、镀膜材料置放部支撑座以及对所述基片进行夹持的复数个夹具，其特征在于，还具有: 两个镀膜锅，一个作为基板，另一个作为用于置放所述镀膜材料的镀膜材料置放部；和一个基板承载部，与所述转动轴相连，用于承载作为基板的所述镀膜锅和装载所述复数个夹具， 其中，所述镀膜锅包括:锅底板、与该锅底板固定相连并环绕所述锅底板设置的锅身，所述锅底板含有:定位凸台、与所述夹具的形状相对应并且个数相等的复数个贯穿孔、第一连接部以及第二连接部，所述第一连接部与所述基板承载部相对应，用于当所述镀膜锅作为基板时与所述基板承载部相连接，所述第二连接部与所述镀膜材料置放部支撑座相对应，用于当所述镀膜锅作为镀膜材料置放部时与所述镀膜材料置放部支撑座相连接， 所述基板承载部包含:与所述转动轴相匹配的定位座和与该定位座固定相连的承载板，所述定位座与所述转动轴相连，所述承载板上设有:与所述定位凸台相对应的定位凹槽、与所述第一连接部相对应的连接固定部以及与所述复数个贯穿孔和所述复数个夹具相对应用于连接该复数个夹具的夹具装载部， 当所述镀膜锅作为基板时，所述夹具的连接轴穿过所述贯穿孔与所述夹具装载部相连。2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于: 其中，所述定位凸台上设有第一外螺纹、所述定位凹槽内设有与所述第一外螺纹相匹配的第一内螺纹， 在所述锅底板作为基板时，所述定位凸台与所述定位凹槽通过所述第一外螺纹与所述第一内螺纹相连接。3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于: ...
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