一种基材承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种基材承载装置，至少包括：位于左右两侧的直立面、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体、及位于前侧的一开口，所述两直立面的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体延伸的横肋体，与所述横肋体上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边。本实用新型专利技术具有以下有益效果：减小了硅片与横肋体顶端的接触面积，在水平进出收片装置的过程中硅片与横肋体顶端的摩擦面积也减少，从而在水平进出过程中承受更小的阻力。对开口上端垂直接触硅片的横肋体表面进行圆钝化后，硅片进入收片装置时接触到的顶端可以更圆滑，从而减少硅片因对位不准而产生碎片的可能性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体设备领域，特别是涉及一种基材承载装置。
技术介绍
在太阳能电池制造的制绒制程中，需要用收片装置来收集处理好的硅片，此时硅片是从外部插入收片装置的装片槽；在后续的扩散制程中，需要将硅片从收片装置中取出。硅片在这些进出过程中存在碎裂的风险，因此需要设计合理的收片装置来减少硅片的碎片率。如图广图3所示，现有的一种收片装置包括位于左右两侧的直立面111及112、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体121及122，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体14、及位于前侧的一开口，所述直立面内侧具有由多个横肋体组成的装片槽13，一般的横肋体为长方体形状。图2为现有的收片装置的俯视图，由图2可见(其中，上下两侧连接体121及122未予图示)，该收片装置的装片槽朝向开口的顶端侧面与与其相连的另一侧面之间的夹角131为直角结构；图3为该收片装置开口处的侧视图，由图3可见，各该装片槽朝向开口的顶端侧面与装片槽上下表面之间的夹角也为直角结构，这种结构的收片装置，硅片在水平进出装片槽时与顶端接触面较大，从而摩擦面积较大，在进出过程中易导致碎片。因此，提供一种能够有效降低硅片进出收片装置时硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基材承载装置，其特征在于，至少包括：位于左右两侧的直立面、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体、及位于前侧的一开口，所述两直立面的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体延伸的横肋体，与所述横肋体上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边。

【技术特征摘要】
1.一种基材承载装置，其特征在于，至少包括:位于左右两侧的直立面、设于上下两侧连接所述两直立面的连接体，设置于后侧且与所述两直立面连接的支撑体、及位于前侧的一开口，所述两直立面的内侧对应设置有多个由所述开口向所述支撑体延伸的横肋体，与所述横肋体上下表面平行的截面于开口处至少具有一圆弧边。2.根据权利要求1所述的基材承载装置，其特征在于:所述圆弧边连接于所述直立面及与该直立面相对的横肋体的侧面。3.根据权利要求2所述的基材承载装置，其特征在于:所述圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：李洋，付安强，
申请(专利权)人：茂迪苏州新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：