【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是位移精密调节的
技术介绍
精密微位移技术是精密机械、精密测量和精密仪器的关键技术之一。近年来随着超精密加工、微电子技术、航空宇航、生物工程等学科的快速发展而发展起来精密微位移技术在现代尖端工业生产和科研领域中占有及其重要的地位,其位移精度直接影响着超精密加工水平和精密测量水平,以及精密仪器的精度,例如在超精密加工中,要获得零件形状尺寸的高精度和加工表面的超光滑,除了必须拥有超精密的机床、高精度和高分辨率的检测仪器、高精度的金刚石刀具和超稳定的加工环境条件以外,还必须具备能够实现精确对刀以及位移误差补偿的精密微位移装置;在精密测量以及精密仪器中,微位移技术的应用更为广泛,光学调整、扫描隧道显微镜、微型零件的操作和装配等等,无不显示着精密微位移技术的重要性。目前,常用的微位移装置主要有如下几种: I)电机+丝杠导轨副:传统的机械传动式微位移装置,应用最早也较为广泛。其结构方式主要是采用电机为驱动元件,以丝杠作为连接件,以滑动导轨作为支承平台。这种结构的位移装置的精度直接受到电动的自身约束,因电动机的磁极无法作的更小,限制了定位精度的提闻。2)基于直线电机+压电陶瓷的微位移装置/音圈电机:这是一种利用直线电机与压电陶瓷作为致动元件的微位移装置。与传统的丝杠导轨微位移装置相比,这种微位移装置具有更高的位移精度,同时具有响应速度高、功耗低等优点,因而受到广泛的关注和应用。该类型的装置宏运动采用直线电机带动导轨实现进给,微运动由压电陶瓷带动柔性铰链或者音圈电机实现进给。但由于其柔性铰链结构形式的限制,这种微位移装置工作范围有限,通常在几 ...
【技术保护点】
基于谐波减速器的宏微两级微动调节装置,其特征在于它由壳体(1)、锁紧螺钉(2)、谐波齿轮减速器(3)、轴承(4)、调整旋钮(5)、微调旋钮(6)组成;所述壳体(1)为圆桶型,壳体(1)左侧的内圆面上镶嵌有轴承(4);所述调整旋钮(5)为圆桶型,调整旋钮(5)左侧的外圆面镶嵌在轴承(4)的内套中,壳体(1)的右端设置有锁紧螺钉(2),调整旋钮(5)右侧的外圆面与壳体(1)右侧的内圆面间隙相对,在锁紧螺钉(2)向下旋进后使锁紧螺钉(2)与调整旋钮(5)右侧的外圆面相顶接,使调整旋钮(5)与壳体(1)不能相对转动,在锁紧螺钉(2)未与调整旋钮(5)右侧的外圆面相顶接时,调整旋钮(5)能与壳体(1)相对转动;谐波齿轮减速器(3)设置在调整旋钮(5)内侧,并使谐波齿轮减速器(3)的外壳与调整旋钮(5)的内圆面连接,谐波齿轮减速器(3)的低速轴输出端(3?1)设置在调整旋钮(5)的左侧,谐波齿轮减速器(3)的高速轴输入端(3?2)设置在调整旋钮(5)的右侧,谐波齿轮减速器(3)的高速轴输入端(3?2)上连接有微调旋钮(6)。
【技术特征摘要】
1.基于谐波减速器的宏微两级微动调节装置,其特征在于它由壳体(I)、锁紧螺钉(2)、谐波齿轮减速器(3)、轴承(4)、调整旋钮(5)、微调旋钮(6)组成; 所述壳体(I)为圆桶型,壳体(I)左侧的内圆面上镶嵌有轴承(4);所述调整旋钮(5)为圆桶型,调整旋钮(5)左侧的外圆面镶嵌在轴承(4)的内套中,壳体(I)的右端设置有锁紧螺钉(2),调整旋钮(5)右侧的外圆面与壳体(I)右侧的内圆面间隙相对,在锁紧螺钉(2)向下旋进后使锁紧螺钉(2)与调整旋钮(5)右侧的外圆面相顶接,使调整旋钮(5)与壳体(I)不能相对转动,在锁紧螺钉(2)未与调整旋钮(5)右侧的外圆面相顶接时,调整旋钮(5)...
【专利技术属性】
技术研发人员:李增强,姚洪辉,宗文俊,孙涛,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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