一种铝互连线及其制备方法技术

本发明专利技术涉及铝互连线及其制备方法。本发明专利技术所提供的方法包括以下步骤：以第一薄膜沉积工艺在衬底上沉积钛层；以第二薄膜沉积工艺在所述钛层上沉积氮化钛层；在所述氮化钛层上沉积含铝的金属层；以及在所述金属层上沉积钛/氮化钛层；其中所述第一薄膜沉积工艺与所述第二薄膜沉积工艺在两个不同的腔室中进行。本发明专利技术还提供了采用该方法制备的铝互连线。不同于现有技术，本发明专利技术采用两个腔体分别沉积钛和氮化钛，从而消除了由于氮化钛的存在而造成的钛纯度不高的影响。通过例如离子化金属电浆工艺，使得钛的纯度大大提高，从而具有很强的（002）取向，由此大大增强了铝的（111）取向，降低了电迁移现象发生的可能性，提高了产品的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于制备铝互连线的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：以第一薄膜沉积工艺在衬底上沉积钛层；以第二薄膜沉积工艺在所述钛层上沉积氮化钛层；在所述氮化钛层上形成含铝的金属层；以及在所述金属层上形成钛/氮化钛层；其中所述第一薄膜沉积工艺与所述第二薄膜沉积工艺在两个不同的腔室中进行。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卜维亮，赵强，李晓丽，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：