一种清洗机硅片上料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种清洗机硅片上料装置，包括：至少一用于放置硅片的上料盒，所述上料盒的顶部设有至少一用于分离硅片的气阀；至少一用于吸取硅片并控制所述硅片移动的吸片机械手；以及用于将所述吸片机械手吸取的硅片输送出的硅片输送装置。采用本实用新型专利技术，所述清洗机硅片上料装置实现自动上料装片，减少对硅片的污染，并能减少碎片率，提高生产效率，节省人工及人力成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种清洗机硅片上料装置，其特征在于，包括：至少一用于放置硅片的上料盒，所述上料盒的顶部设有至少一用于分离硅片的气阀；至少一用于吸取硅片并控制所述硅片移动的吸片机械手； 以及用于将所述吸片机械手吸取的硅片输送出的硅片输送装置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：胡海平，班群，方结彬，何达能，陈刚，
申请(专利权)人：广东爱康太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44