一种操作简易的晶片夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种操作简易的晶片夹具，可以提高工作效率、节省人力成本、提高夹持工序的安全性。本发明专利技术包含有2个及以上的夹臂和夹头，夹臂之间相互连接形成连接端，夹臂另一端的自由端安装衔接有夹头，其中一个夹臂上安装一个以上夹头，夹臂中一些夹臂在夹取操作中其位置相对固定不变，为固定夹臂，另外的夹臂则相对于固定夹臂其位置在变动，为运动夹臂；运动夹臂带动夹头向固定夹臂移动，固定夹臂在夹具的夹取中起到定位作用。本发明专利技术操作简单容易，提高设备定位精度，简化设备控制系统的复杂程度，进而降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体及微电子行业生产流程中夹持晶片使用的夹具，更具体地，特别涉及一种操作简易的晶片夹具，此夹具在工作时，只需施力于其中一个或两个夹臂就能夹取，其夹持操作简单容易，不易损伤晶片。
技术介绍
随着新型半导体材料的研发和逐渐产业化，不断掀起新技术革命和新兴产业的发展。以氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体材料，因其内、外量子效率高，具有高发光效率、高热导率、耐高温、抗辐射、耐酸碱、高强度和高硬度等特性，而在新型光显示、光存储、光照明、光探测器件等领域被广泛应用。目前这些半导体行业的生产规模在不断扩大，其产量在不断增加。然而半导体行业对生产环境以及生产用具均有非常高的要求。夹具是在半导体行业生产中使用频繁且不可缺少的生产工具，随着半导体行业日益发展，夹具在生产中使用对产品所产生的影响以及怎样使夹具更适用于生产等，都引起用户的十分关注。目前半导体和电子行业夹持晶片的镊子操作复杂，不利于提高生产效率，而自动化设备中使用的传统夹具，由于每个夹臂的柔软系数、变形相近，所以定位困难，夹持时为防止滑落或碎片，对夹持驱动力控制要求高，所以其定位、控制系统复杂，设备成本高昂。在半导体行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作简易的晶片夹具，其特征在于，包含有：2个及以上的夹臂和夹头，所述2个及以上的夹臂之间相互连接形成连接端，夹臂之间互成夹角，夹臂另一端的自由端安装衔接有夹头，其中一个夹臂上安装一个以上夹头，所述2个及以上的夹臂中一些夹臂在夹取操作中其位置相对固定不变，为固定夹臂；另外的夹臂则相对于固定夹臂其位置在变动，该夹臂被驱动后运动，为运动夹臂；所述运动夹臂带动夹头向固定夹臂移动，所述运动夹臂和固定夹臂的受力变形系数相差较大，所述运动夹臂具有较强弹性变形性能，所述固定夹臂为刚体，所述固定夹臂在夹具的夹取中起到定位作用；夹臂的弹性形变性能，通过选材、机械结构方式实现；各夹臂间相互连接方式包括一体成型、...

【技术特征摘要】
1.一种操作简易的晶片夹具，其特征在于，包含有:2个及以上的夹臂和夹头，所述2个及以上的夹臂之间相互连接形成连接端，夹臂之间互成夹角，夹臂另一端的自由端安装衔接有夹头，其中一个夹臂上安装一个以上夹头，所述2个及以上的夹臂中一些夹臂在夹取操作中其位置相对固定不变，为固定夹臂；另外的夹臂则相对于固定夹臂其位置在变动，该夹臂被驱动后运动，为运动夹臂； 所述运动夹臂带动夹头向固定夹臂移动，所述运动夹臂和固定夹臂的受力变形系数相差较大，所述运动夹臂具有较强弹性变形性能，所述固定夹臂为刚体，所述固定夹臂在夹具的夹取中起到定位作用；夹臂的弹性形变性能，通过选材、机械结构方式实现； 各夹璧里相互连接方式包括一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹； 夹头与夹臂自由端的安装方式包括一体成型、碾压、螺丝连接、黏合、焊接、钳夹，各夹头之间互成角度。2.根据权利要求1所述的一种操作简易的晶片夹具，其特征在于，所述固定夹臂用做相对定位，通过驱动运动夹臂来改变夹头之间的距离，所述运动夹臂具有较强弹性变形能力，相邻两夹臂之间中部连接有直臂。3.根据权利要求1所述的一种操作简易的晶片夹具，其特征在于，所述夹头的形状为扁平状、倒三角、尖峰状、鸭嘴状，夹头材质采用:不锈钢、碳钢、石墨、陶瓷、钛、钥、钨、铝合金、石英、玻璃、塑料。4.根据权利要求1所述的一种操作简易的晶片夹具，其特征在于，所述夹臂的选材为:铁、不锈钢、碳钢、石墨、陶瓷、钛、钥、钨、铝合金、石英、玻璃、塑料材料；夹臂的机械结构是薄板、细丝、螺旋式结构。5.根据权利要求1所述的一种操作简易的晶片夹具，其特征在于，所述固定夹臂与运动夹臂的不同弹性变形功能是两类夹臂选取不同弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，毕绿燕，赵红军，张国义，童玉珍，廉宗隅，
申请(专利权)人：东莞市中镓半导体科技有限公司，北京大学，
类型：发明
国别省市：