一种多夹头晶片夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种多夹头晶片夹具，通过施力于夹臂控制夹头，减小各夹头之间距使其合拢并接触晶片的侧边缘，来完成夹片操作。本发明专利技术包含有四个及以上夹头，夹头安装在夹臂末端，在其一个及以上夹臂末端上可安装多个夹头，形成多夹头夹具，部分夹臂相对固定，其余夹臂可定向移动带动夹头靠拢、接触晶片侧边缘实施夹取操作，夹臂之间形成有夹角。本发明专利技术的多夹头夹具，仅需其中三个夹头作用在晶片上，便能达到夹具的作用，从而降低对夹头的控制精确度的要求及夹持晶片的操控难度，提高安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种夹具，特别涉及多夹头夹具在夹持晶片过程中仅需其中三个夹头作用即可完成夹片操作，从而降低夹持操控难度，提高安全性。
技术介绍
为代表的第三代半导体材料，因其内、外量子效率高，具有高发光效率、高热导率、耐高温、抗辐射、耐酸碱、高强度和高硬度等特性，而在新型光显示、光存储、光照明、光探测器件等领域被广泛应用。目前这些半导体行业的生产规模在不断扩大，其产量在不断增加。这些半导体行业以及相关电子产业如火如荼的发展，自然引发大家对在这些产业生产中使用频繁且不可缺少的生产用具即晶片夹具的关注。目前夹取直径为两寸、三寸、四寸等大尺寸的半导体晶片，常用的主要有两种方式，一种是用普通的镊子，另一种是真空负压吸取。普通镊子利用其两夹头夹住晶片的正反两面完成夹片操作；真空吸取的吸盘是用橡胶制成，使用时真空负压吸盘吸住晶片表面，借助真空负压吸力将晶片吸住并保持。目前夹具对夹头的控制精确度比较低，操作难度较大、工作效率低；真空吸附式夹具不适合于高温环境。上述的镊子不管是两夹头、三夹头的镊子还是真空吸取对夹取准确度要求较高。对两夹头、三夹头的镊子，要求所有的夹头同时施力于晶片侧边缘才能完成夹持本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多夹头晶片夹具，包含有：四个及以上夹头，其特征在于，所述夹头安装在夹臂末端，在其中一个及以上夹臂末端上安装两个及以上夹头，形成多夹头夹具，所述夹臂的数量两个及以上；所述夹臂中，部分夹臂相对固定，其余夹臂可定向移动带动夹头靠拢、接触晶片侧边缘实施夹取操作；所述夹臂相互连接，所述夹臂相互连接处置于夹臂首端或夹臂中段或远离夹臂末端；所述夹臂之间形成有夹角；所述夹臂的运动属性为：其中一条夹臂具有一定运动弹性及受力变位功能，其余夹臂相对固定不动；或其中两条夹臂具有一定运动弹性及受力变位功能，其余夹臂相对固定不动；或所有夹臂均具有一定运动弹性及受力变位功能；所述夹头与夹臂末端的安装方式，包括一体成型、...

【技术特征摘要】
1.一种多夹头晶片夹具，包含有:四个及以上夹头，其特征在于，所述夹头安装在夹臂末端，在其中一个及以上夹臂末端上安装两个及以上夹头，形成多夹头夹具，所述夹臂的数量两个及以上；所述夹臂中，部分夹臂相对固定，其余夹臂可定向移动带动夹头靠拢、接触晶片侧边缘实施夹取操作；所述夹臂相互连接，所述夹臂相互连接处置于夹臂首端或夹臂中段或远离夹臂末端；所述夹臂之间形成有夹角； 所述夹臂的运动属性为:其中一条夹臂具有一定运动弹性及受力变位功能，其余夹臂相对固定不动；或其中两条夹臂具有一定运动弹性及受力变位功能，其余夹臂相对固定不动；或所有夹臂均具有一定运动弹性及受力变位功能； 所述夹头与夹臂末端的安装方式I包括一体成型、碾压、螺丝结合、黏合、焊接、钳夹安装方式。2.根据权利要求1所述的一种多夹头晶片夹具，其特征在于，所述夹头形状为扁平状、挖耳状、铲形、鸭嘴形、构形、倒三角、尖峰状，其中任意三个夹头施力于晶片侧面。3.根据权利要求1所述的一种多夹头晶片夹具，其特征在于，所述夹臂通过施力带动夹头移动，使各夹头之间距缩小并靠拢，而完成夹片操作； 所述夹臂的形状为:扁平状、圆柱形、锥形； 所述夹臂粗细为:所有夹臂粗细相同；或其中一个夹臂粗细与其他所有夹臂粗细不同；或其中两个夹臂粗细相同，其他所有夹臂粗细不相同。4.根据权利要求1所述的一种多夹头晶片夹具，其特征在于，所述夹臂材质为:铁质、碳素、不锈钢、塑胶、铝合金。5.根据权利要求1所述的一种多夹头晶片夹具，其特征在于，所述夹头形状为大小相同；或所有夹头大小相同；或其中两个夹头大小相同，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，毕绿燕，赵红军，张国义，童玉珍，廉宗隅，
申请(专利权)人：东莞市中镓半导体科技有限公司，北京大学，
类型：发明
国别省市：