【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体芯片测试分选装置
,具体的说,涉及一种芯片分选设备顶针装置。
技术介绍
芯片分选设备的作用是将芯片进行分类排放。工作过程中,待分选的芯片被均匀粘贴在翻晶膜上,翻晶膜被绷紧固定在由内外圈紧密配合的尼龙环(即子母环)上,子母环安装于能够XY方向移动并绕自身轴线做30°旋转的供给圆筒形平台上,平台上部的扫描CCD系统对翻晶膜上每颗芯片进行识别及定位。芯片移送系统对每个芯片进行抓取,并将其按照规则放置到接收平台,完成芯片分选。顶针装置是芯片分选设备上的一个重要的组成部件,它安装在供给圆筒形平台内下方,其主要功能是驱动顶针从芯片正中心的下方往上顶,克服芯片与翻晶膜之间的粘着力将芯片顶起,以便于上方吸嘴将芯片吸走。顶针装置设计是实现芯片分选工艺的关键,顶针顶起的运动特征决定了芯片吸取的成败。现有的顶针装置工作时,由于机械加工存在的误差,使得顶针与顶针套筒上供顶针穿出的孔轴线不同心使顶针偏向一边,导致顶针不能从芯片正中心的下方将芯片顶起,使得芯片排列精度差或导致芯片吸取失败;由于顶针装置固定,限制了供给圆筒形平台运动行程,但是其他功能却要求供给圆筒形 ...
【技术保护点】
一种芯片分选设备顶针装置,其特征在于:包括顶针套筒、顶针轴和安装座,所述可升降的顶针轴设置于所述顶针套筒内,所述顶针轴顶端固定有顶针,所述顶针轴与一驱动所述顶针轴作上下运动的顶针轴驱动装置连接,所述顶针套筒上设置有供所述顶针穿出的顶针孔,其特征在于:所述顶针轴外侧还套设有用于调整顶针套筒位置的调整座,所述顶针套筒固接于所述调整座,所述调整座固接于所述安装座。
【技术特征摘要】
1.一种芯片分选设备顶针装置,其特征在于:包括顶针套筒、顶针轴和安装座,所述可升降的顶针轴设置于所述顶针套筒内,所述顶针轴顶端固定有顶针,所述顶针轴与一驱动所述顶针轴作上下运动的顶针轴驱动装置连接,所述顶针套筒上设置有供所述顶针穿出的顶针孔,其特征在于:所述顶针轴外侧还套设有用于调整顶针套筒位置的调整座,所述顶针套筒固接于所述调整座,所述调整座固接于所述安装座。2.根据权利要求1所述的一种芯片分选设备顶针装置,其特征在于:所述调整座设有调整装置。3.根据权利要求2所述的一种芯片分选设备顶针装置,其特征在于:所述调整装置为分别设于所述调整座四面的四个调整螺钉,且所述调整螺钉的尾端抵接于所述调整座外侧,所述调整螺钉螺接于所述安装座。4.根据权利要求1所述的一种芯片分选设备顶针装置,其特征在于:所述安装座与一驱动所述顶针装置上下运动...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱国文,吴涛,龚时华,朱文凯,贺松平,李斌,吴磊,宋宪振,黄惠,
申请(专利权)人:广东志成华科光电设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。