公开了一种弹性固定轮及包含该弹性固定轮的晶圆适配器。该弹性固定轮包括轮圈、位于轮圈内的主固定部以及至少两个支撑条。每一个支撑条位于轮圈与主固定部之间的间隙中。支撑条的一端与主固定部接触，例如固定到主固定部，而另一端与轮圈的内侧接触。例如，在轮圈内侧形成有滑道，支撑条的所述另一端可在滑道中滑动。当弹性固定轮受到不均匀外力时或者当外力过大时，支撑条能够从轮圈内侧对轮圈提供增强的支撑作用，或者至少部分地分散弹性固定轮受到的不均匀力，从而防止轮圈的过度形变，由此减少或避免弹性固定轮断裂的发生。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件制造领域，尤其涉及晶圆适配器。
技术介绍
在现代半导体制造业中，为了降低半导体器件的成本，采用的晶圆尺寸不断增大。 众所周知，晶圆尺寸越大，利用单片晶圆制造出的芯片总数越多，由此单个芯片的成本就越低。然而，晶圆尺寸的发展是个逐步的过程，且由于开发大尺寸晶圆需要巨额投资，因此对于半导体制造商来说，通常会同时生产两种或更多种尺寸的晶圆。这就需要半导体制造加工设备提供对不同尺寸晶圆的兼容。在半导体器件的制造过程中，从晶圆到半导体芯片，需要经过各种复杂的加工步骤，这些加工步骤由不同的设备完成。为了简化运输和尽可能降低污染，通常使用一种前开式标准晶圆盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)在不同设备之间搬移晶圆。FOUP中可以放置多个晶圆。承载有晶圆的FOUP移动到加工设备前端后，与各加工设备进行对接，然后晶圆被加工设备吸入并进行加工。完成加工后，晶圆被放回F0UP，再由FOUP运送到下一个加工设备处。为使承载大尺寸晶圆的FOUP能够同时兼容小尺寸晶圆，可以使用一种晶圆适配器。图1示出常见的放置有晶圆适配器的FOUP的结构示意图。如图1所示，在适用大尺寸晶圆的FOUP 100中放置有可承载小尺寸晶圆的适配器102。通过晶圆适配器102上的弹性固定轮104，使得晶圆适配器102能够在弹性固定轮104与FOUP内侧壁的相互作用力下固定在FOUP 100中。然而，现有的弹性固定轮104易因受力不均匀而发生断裂，例如，当弹性固定轮 104受到过大的挤压力时，弹性固定轮104的轮圈106可能发生过度形变，从而导致轮圈 106发生断裂。由此，不仅弹性固定轮104断裂的破屑极易划伤甚至击碎放置在晶圆适配器102里的晶圆，而且使得晶圆适配器102不能在FOUP 100中稳定地固定，甚至导致晶圆破裂，从而污染生产或量测机台。
技术实现思路
本专利技术的专利技术人发现了上述现有技术中存在的晶圆适配器的弹性固定轮容易断裂的问题。为了消除或者至少部分地减轻现有技术中的上述问题，提出了本专利技术。在本专利技术中，通过在用于晶圆适配器的弹性固定轮的主固定部与轮圈之间增加支撑条，来为弹性固定轮提供增强的支撑能力，由此减少或消除断裂的发生`。根据本公开的第一方面，提供了一种用于晶圆适配器的弹性固定轮，包括轮圈； 和主固定部，该主固定部位于所述轮圈内且与所述轮圈一体形成，该主固定部与所述轮圈的一部分之间存在间隙，其特征在于所述弹性固定轮还包括至少两个支撑条，所述至少两个支撑条中的每一个都位于所述间隙中，且每一个所述支撑条的一端与所述主固定部接触，而另一端与所述轮圈的内侧接触。在一个实施例中，所述轮圈的内侧形成有滑道，每一个所述支撑条的所述另一端可滑动地设置在所述滑道中。在一个实施例中，每一个所述支撑条的所述一端与所述主固定部固定接触。在一个实施例中，所述主固定部的侧围形成有主固定部滑道，每一个所述支撑条的所述一端可滑动地设置在所述主固定部滑道中。在一个实施例中，每一个所述支撑条的所述另一端与所述轮圈的内侧固定接触。在一个实施例中，所述轮圈内侧的滑道由相互分开的多个滑道分段构成，其中每一个所述支撑条的所述另一端可滑动地设置在相应的一个所述滑道分段中。在一个实施例中，所述主固定部滑道由相互分开的多个主固定部滑道分段构成， 其中每一个所述支撑条的所述一端可滑动地设置在相应的一个所述主固定部滑道分段中。在一个实施例中，在所述支撑条的总个数为偶数时，所述支撑条关于所述主固定部对称地分布。在一个实施例中，在所述支撑条的总个数为奇数时，一个所述支撑条与所述主固定部的中心轴线共线，其余所述支撑条关于该共线的支撑条对称地分布。在一个实施例中，所述至少两个支撑条的部分或全部集中在所述间隙的一部分中。在一个实施例中，形成所述支撑条的材料与形成所述轮圈和所述主固定部的材料相同。在一个实施例中，所述支撑条的材料为塑料。在一个实施例中，所述主固定部上设置有螺孔，便于将所述弹性固定轮固定在晶圆适配器上。在一个实施例中，所述支撑条的总个数为三个。根据本公开的第二方面，还提供了一种晶圆适配器，包括上支架；下支架；以及晶圆层架，该晶圆层架设置在所述上支架和下支架之间，用以承载晶圆，其中，在所述上支架的上表面或下支架的上表面上固定有一个或多个根据本公开第一方面所述的弹性固定轮。本公开实施例的用于晶圆适配器的弹性固定轮通过在主固定部与轮圈之间增加支撑条，从轮圈内侧对轮圈提供了增强的支撑力，由此阻止轮圈的过度形变，从而消除或减少弹性固定轮断裂的发生。本公开实施例的弹性固定轮可以在轮圈内侧设置有滑道，且支撑条可以在滑道内滑动。通过支撑条在滑道内的滑动，可以至少部分地分散弹性固定轮受到的不均匀力，由此进一步减少弹性固定轮断裂的发生。通过以下参照 附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。附图说明构成说明书的一 部分的附图描述了本专利技术的实施例，并且连同说明书一起用于解释本专利技术的原理。参照附图，根据下面的详细描述，可以更加清楚地理解本专利技术，其中图1是示出了现有技术的放置有晶圆适配器的FOUP的结构示意图2A至2C是示出了根据本公开实施例的用于晶圆适配器的弹性固定轮的结构示意图3是示出了根据本公开实施例的包括如图2A至2C所示的弹性固定轮的晶圆适配器的结构示意图。具体实施方式 现在将参照附图来详细描述本专利技术的各种示例性实施例。应注意到除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本专利技术的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。为了减少或消除用于晶圆适配器的弹性固定轮的断裂，本公开实施例提出了在弹性固定轮的主固定部与轮圈之间增加支撑条，由此为弹性固定轮提供增强的支撑能力。更进一步，可以在弹性固定轮的轮圈内侧设置有滑道，且支撑条可以在滑道内滑动。通过支撑条在滑道内的滑动，可以至少部分地分散弹性固定轮受到的不均匀力，由此进一步减少弹性固定轮断裂的发生。下面参考图2A至2C，描述根据本公开实施例的用于晶圆适配器的弹性固定轮200 的结构。如图2A所示，弹性固定轮200包括轮圈202和主固定部204。主固定部204位于轮圈202内，并且通常与轮圈202 —体形成。主固定部204与轮圈202的一部分之间存在间隙205。在图2A所示的示例中，主固定部204具有大体圆形或椭圆形形状。然而，主固定部204可以具有任意其他适合的形状。出于便于制造的考虑，主固定部204通常设计为具有对称形状，具有中心对称轴线210。在一个实施例中，主固定部204上可以设置有螺孔203，便本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于晶圆适配器的弹性固定轮(200)，包括：轮圈(202)；和主固定部(204)，该主固定部(204)位于所述轮圈(202)内且与所述轮圈(202)一体形成，该主固定部(204)与所述轮圈(202)的一部分之间存在间隙(205)，其特征在于所述弹性固定轮(200)还包括：至少两个支撑条(206)，所述至少两个支撑条(206)中的每一个都位于所述间隙(205)中，且每一个所述支撑条(206)的一端(222)与所述主固定部(204)接触，而另一端(224)与所述轮圈(202)的内侧接触。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆适配器的弹性固定轮(200)，包括 轮圈(202);和 主固定部(204)，该主固定部(204)位于所述轮圈(202)内且与所述轮圈(202) —体形成，该主固定部(204)与所述轮圈(202)的一部分之间存在间隙(205)，其特征在于所述弹性固定轮(200)还包括 至少两个支撑条(206)，所述至少两个支撑条(206)中的每一个都位于所述间隙(205)中，且每一个所述支撑条(206)的一端(222)与所述主固定部(204)接触，而另一端(224)与所述轮圈(202)的内侧接触。2.根据权利要求1所述的弹性固定轮，其特征在于，所述轮圈(202)的内侧形成有滑道(208)，每一个所述支撑条(206)的所述另一端(224)可滑动地设置在所述滑道(208)中。3.根据权利要求2所述的弹性固定轮，其特征在于，每一个所述支撑条(206)的所述一端(222)与所述主固定部(204)固定接触。4.根据权利要求2所述的弹性固定轮，其特征在于，所述主固定部(204)的侧围(220)上形成有主固定部滑道，每一个所述支撑条(206)的所述一端(222)可滑动地设置在所述主固定部滑道中。5.根据权利要求1所述的弹性固定轮，其特征在于，每一个所述支撑条(206)的所述另一端(224)与所述轮圈(202)的内侧固定接触。6.根据权利要求5所述的弹性固定轮，其特征在于，每一个所述支撑条(206)的所述一端(222)与所述主固定部(204)固定接触。7.根据权利要求2所述的弹性固定轮，其特征在于，所述轮圈(202)内侧的滑道(208)由相互分开的多个滑道分段构成，其中每一个所述支撑条(206)的所述另一端(224)可滑动地设置在相应的一个所述滑道分段中。8.根据权利要求4所述的弹性固定轮，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵昱劼，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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