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公开了一种弹性固定轮及包含该弹性固定轮的晶圆适配器。该弹性固定轮包括轮圈、位于轮圈内的主固定部以及至少两个支撑条。每一个支撑条位于轮圈与主固定部之间的间隙中。支撑条的一端与主固定部接触，例如固定到主固定部，而另一端与轮圈的内侧接触。例如，在...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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