【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气相外延，尤其涉及一种原料舟及气相外延装置。
技术介绍
1、氢化物气相外延(hydride vapor phase epitaxy，简称hvpe)是一种常用的半导体材料生长技术，在hvpe设备中，将反应气体与原料混合接触，沉积在衬底上，从而实现材料的生长。
2、然而，在hvpe设备中容易出现反应气体与原料的接触不够充分的情形，这种不足的接触可能导致材料生长速率的不稳定性，从而降低晶体的质量。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供一种原料舟及气相外延装置，解决现有hvpe技术中原料舟容易出现反应气体与原料的接触不够充分的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供以下的技术方案：
3、一种原料舟，包括原料舟本体，所述原料舟本体设有：
4、第一进气管，所述第一进气管用于通入第一反应气体；
5、容置腔，所述容置腔用于容纳原料，且所述容置腔与所述第一进气管连通；所述容置腔内设有流道隔板，所述流道隔板在所述容置腔中分隔形成用于引导第一反应气体在容置腔中绕流的气体流动通道；所述流道隔板上设有涡流发生装置，所述涡流发生装置使流入气体流动通道的所述第一反应气体形成气流涡流。
6、可选地，所述容置腔内设有多个相互平行的流道隔板，每两个所述流道隔板之间形成直线型的流道分支，各所述流道分支头尾相接形成所述气体流动通道；
7、所述涡流发生装置设于相邻的所述流道隔板之间。
8、可选地，
9、所述涡流发生装置设于相邻的所述流道隔板之间。
10、可选地，所述流道隔板上设有开口，相邻的所述流道隔板上的所述开口呈交错布置，各所述流道隔板之间通过连接隔板连接，所述连接隔板的其中一侧边与所述容置腔的腔壁紧密连接，所述连接隔板的另一侧边依次穿过各所述流道隔板的开口，相邻的所述流道隔板通过开口的不同端与所述连接隔板紧密连接。
11、可选地，所述涡流发生装置为倾斜设置的平面板；
12、相邻的所述流道分支中，所述平面板的倾斜方向相反。
13、可选地，所述涡流发生装置为翼型板，所述翼型板的纵截面为飞机翼形，所述翼型板的两端分别为尖端和圆弧端，所述翼形板的宽度小于流道的宽度。
14、可选地，相邻的所述流道分支中，所述翼型板尖端的方向相反。
15、可选地，所述翼型板包括第一弧形面和第二弧形面，所述第一弧形面的弧度大于所述第二弧形面的弧度；
16、所述第二弧形面靠近于所述容置腔中的原料设置。
17、可选地，所述涡流发生装置为柱状体，所述柱状体垂直于所述流道隔板设置，或者，所述柱状体垂直于所述流道隔板的切线设置。
18、本专利技术还提供了一种气相外延装置，包括如上所述的原料舟。
19、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
20、本专利技术提供了一种原料舟及气相外延装置，通过在原料舟中设置涡流发生装置，使流入气体流动通道的所述第一反应气体形成气流涡流，能够提升第一反应气体与原料的接触概率，提升产物转化率，有利于提高材料生长速率的稳定性，从而确保晶体质量。
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1.一种原料舟，其特征在于，包括原料舟本体(10)，所述原料舟本体(10)设有：
2.根据权利要求1所述的原料舟，其特征在于，所述容置腔内设有多个相互平行的流道隔板(11)，每两个所述流道隔板(11)之间形成直线型的流道分支，各所述流道分支头尾相接形成所述气体流动通道；
3.根据权利要求1所述的原料舟，其特征在于，所述流道隔板(11)为环形板，至少两个所述流道隔板(11)呈同心设置；相邻的所述流道隔板(11)之间形成环型的流道分支，各所述流道分支头尾相接形成所述气体流动通道；
4.根据权利要求3所述的原料舟，其特征在于，所述流道隔板(11)上设有开口，相邻的所述流道隔板(11)上的所述开口呈交错布置，各所述流道隔板(11)之间通过连接隔板(110)连接，所述连接隔板(110)的其中一侧边与所述容置腔的腔壁紧密连接，所述连接隔板(110)的另一侧边依次穿过各所述流道隔板(11)的开口，相邻的所述流道隔板(11)通过开口的不同端与所述连接隔板(110)紧密连接。
5.根据权利要求2或3所述的原料舟，其特征在于，所述涡流发生装置(12)为
6.根据权利要求2或3所述的原料舟，其特征在于，所述涡流发生装置(12)为柱状体；
7.根据权利要求2或3所述的原料舟，其特征在于，所述涡流发生装置(12)为翼型板，所述翼型板的纵截面为飞机翼形，所述翼型板的两端分别为尖端和圆弧端，所述翼形板的宽度小于流道的宽度。
8.根据权利要求7所述的原料舟，其特征在于，所述翼型板包括第一弧形面和第二弧形面，所述第一弧形面的弧度大于所述第二弧形面的弧度；
9.根据权利要求7所述的原料舟，其特征在于，相邻的所述流道分支中，所述翼型板尖端的方向相反。
10.一种气相外延装置，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的原料舟。
...【技术特征摘要】
1.一种原料舟，其特征在于，包括原料舟本体(10)，所述原料舟本体(10)设有：
2.根据权利要求1所述的原料舟，其特征在于，所述容置腔内设有多个相互平行的流道隔板(11)，每两个所述流道隔板(11)之间形成直线型的流道分支，各所述流道分支头尾相接形成所述气体流动通道；
3.根据权利要求1所述的原料舟，其特征在于，所述流道隔板(11)为环形板，至少两个所述流道隔板(11)呈同心设置；相邻的所述流道隔板(11)之间形成环型的流道分支，各所述流道分支头尾相接形成所述气体流动通道；
4.根据权利要求3所述的原料舟，其特征在于，所述流道隔板(11)上设有开口，相邻的所述流道隔板(11)上的所述开口呈交错布置，各所述流道隔板(11)之间通过连接隔板(110)连接，所述连接隔板(110)的其中一侧边与所述容置腔的腔壁紧密连接，所述连接隔板(110)的另一侧边依次穿过各所述流道隔板(11...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢敬权，王健辉，
申请(专利权)人：东莞市中镓半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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