盘状物夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体晶片工艺技术领域，公开了一种盘状物夹持装置。本实用新型专利技术所提供的盘状物夹持装置通过设置两组夹持元件组，每组夹持元件组分别包括若干个夹持元件，且每个夹持元件均可以其与卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转，并在每个夹持元件相对的位置设置驱动组件，用于推动或吸引夹持元件以其旋转中心旋转，实现夹持或打开晶片，通过控制驱动组件，使得在晶片清洗过程中每组夹持元件组交替夹持、打开晶片，实现对夹持元件与晶片接触地方的清洗，大大提高了晶片的整体清洗质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶片工艺
，特别是涉及一种盘状物夹持装置。
技术介绍
晶片工艺中的清洗工艺是通过卡盘夹持并旋转待清洗晶片来实现对晶片表面的清洗的，现有技术中用于夹持晶片的卡盘应用最多的是销夹盘、伯努利吸盘等。在公开号为ZL200910087488.5的专利中公开了一种利用弹簧的弹力将晶片卡紧，并利用磁铁的吸引力来打开晶片。在申请号为US5513668和US4903717的美国专利中公开了一种利用伯努利原理固定晶片的卡盘利用伯努利原理在卡盘和晶片之间形成一层气垫。利用气垫来轴向定位晶片，通过分布在晶片圆周的夹持元件来实现径向定位。但是这些专利都有一个无法克服的缺点:无法对夹持元件与晶片接触的地方进行清洗，从而影响晶片整体清洗质量。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术提供一种盘状物夹持装置，用以解决晶片清洗过程中无法清洗夹持元件与晶片接触的地方，从而影响晶片清洗质量的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供一种盘状物夹持装置，包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴，所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组，且所述第一夹持元件组和第二夹持元件组分别包括至少三个第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件和第二夹持元件均可以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转；所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件相对的位置均设置有第一驱动组件，用于推动或吸引所述第一夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件相对的位置均设置有第二驱动组件，用于推动或吸引所述第二夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体侧壁上与每个所述第一夹持元件和第二夹持元件旋转中心上方相对的位置均设置有弹性体，用于径向弹开所述第一夹持元件和第二夹持元件。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一夹持元件的重心位于其旋转中心的上方，所述第二夹持元件的重心位于其旋转中心的下方；所述第一驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件旋转中心下方相对的位置；所述第二驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件旋转中心下方相对的位置。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一驱动组件包括位于所述卡盘主体第一径向槽内的第一顶杆和位于所述卡盘主体第一轴向槽内的第一滑动导向块，且所述第一径向槽和第一轴向槽相通，所述第一滑动导向块可在所述第一轴向槽内上下移动，用于顶出所述第一顶杆；所述第二驱动组件包括位于所述卡盘主体第二径向槽内的第二顶杆和位于所述卡盘主体第二轴向槽内的第二滑动导向块，且所述第二径向槽和第二轴向槽相通，所述第二滑动导向块可在所述第二轴向槽内上下移动，用于顶出所述第二顶杆；所述第一驱动组件和第二驱动组件还分别包括用于驱动所述第一滑动导向块和第二滑动导向块上下移动的驱动源。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一轴向槽和第二轴向槽沿圆周方向连通，且所述第一滑动导向块和第二滑动导向块为一体结构。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一滑动导向块和第二滑动导向块的顶端为具有分别凸向所述第一顶杆和第二顶杆设定弧度的圆弧面。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述驱动源为气缸。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述驱动源为电磁铁。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述第一滑动导向块和第二滑动导向块底端分别镶嵌一磁铁；或所述第一滑动导向块和第二滑动导向块均为铁磁性材质。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述卡盘主体上具有至少三个盘状物支撑，用于轴向定位所述盘状物。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述卡盘主体为以所述旋转轴与所述卡盘主体固定点为中心，两组，每组由至少三个沿径向分布的辐条构成的辐条状支撑体；或以所述固定点为中心的圆盘。如上所述的盘状物夹持装置，优选的是，所述弹性体包括挡块，所述挡块通过一弹簧可压缩固定在所述卡盘主体侧壁上的第三径向槽中。(三)有益效果本技术所提供的盘状物夹持装置通过设置两组夹持元件组，每组夹持元件组分别包括若干个夹持元件，且每个夹持元件均可以其与卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转，并在每个夹持元件相对的位置设置驱动组件，用于推动或吸引夹持元件以其旋转中心旋转，实现夹持或打开晶片，通过控制驱动组件，使得在晶片清洗过程中每组夹持元件组交替夹持、打开晶片，实现对夹持元件与晶片接触地方的清洗，大大提高了晶片的整体清洗质量。同时为了实现晶片的连续生产，在卡盘主体侧壁上与每个夹持元件旋转中心上方相对的位置设置弹性体，当清洗工艺结束后，在弹性体的作用下，夹持元件打开晶片，方便机械手取放晶片。附图说明图1为本技术实施例中卡盘主体旋转处于状态I时盘状物夹持装置的结构示意图；图2为辐条状卡盘主体的结构示意图；图3为圆盘状卡盘主体的结构示意图；图4为第一滑动导向块和第二滑动导向块为一体结构时沿图1A-A方向的局部剖视图；图5为本技术实施例中卡盘主体旋转处于过渡状态O时盘状物夹持装置的结构示意图；图6为本技术实施例中卡盘主体旋转处于状态2时盘状物夹持装置的结构示意图；图7为本技术实施例中卡盘主体不旋转时盘状物夹持装置的结构示意图；其中，a:第一夹持元件组；b:第二夹持元件组；1:第一夹持元件；1’:第二夹持元件；2:盘状物支撑；3:挡块；4:弹簧；5:卡盘主体；6:第一滑动导向块；7:第二滑动导向块；8:第一顶杆；9:第二顶杆；10:化学药液喷洒单元；11:第一驱动组件；12:第二驱动组件；13:驱动源；14:旋转轴；15:弹性体；16:第一径向槽；17:第二径向槽；18:第一轴向槽；19:第二轴向槽；S1:滑动导向块圆弧面；C:夹持元件旋转中心；W:晶片；G:第一夹持元件重心；G’:第二夹持元件重心；。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。下面以晶片盘状物为例来具体说明本技术盘状物夹持装置的工作原理及过程，但本技术适用的盘状物并不局限于晶片。如图1所示，本技术实施例中的盘状物夹持装置包括用于固定晶片W的卡盘主体5及用于旋转卡盘主体5的旋转轴14，且卡盘主体5上具有至少三个盘状物支撑2，用于轴向定位晶片W。卡盘主体5可以为如图2所示的以旋转轴14与卡盘主体5固定点为中心，两组，每组由至少三个(本实施例中为3个)沿径向分布的辐条构成的辐条状支撑体，也可以为如图3所示的以上述固定点为中心的圆盘。卡盘主体5的边缘设置有第一夹持元件组a和第二夹持元件组b，且第一夹持元件组a和第二夹持元件组b分别包括至少三个(本实施例中为3个)第一夹持元件I和第二夹持元件I’，用于径向定位晶片W，第一夹持元件I和第二夹持元件I’均可以其与卡盘主体5的连接点为旋转中心C在竖直平面旋转，从而能够实现在卡盘主体5旋转过程中交替卡紧或打开晶片W。当然，本领域所属技术人员很容易推出也可以设置多个第一夹持元件组a和第二夹持元件组b，但从方便控制和易实现角度，本技术的盘状物夹持装置只分别设置一个第一夹持元件组a和第二夹持元件组b。卡盘主体5下与每个第一夹持元件I相对的位置均设置有第一驱动组件11，用于推动或吸引第一夹持元件I以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种盘状物夹持装置，包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组，且所述第一夹持元件组和第二夹持元件组分别包括至少三个第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件和第二夹持元件均可以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转；所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件相对的位置均设置有第一驱动组件，用于推动或吸引所述第一夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件相对的位置均设置有第二驱动组件，用于推动或吸引所述第二夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体侧壁上与每个所述第一夹持元件和第二夹持元件旋转中心上方相对的位置均设置有弹性体，用于径向弹开所述第一夹持元件和第二夹持元件。

【技术特征摘要】
1.一种盘状物夹持装置，包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组，且所述第一夹持元件组和第二夹持元件组分别包括至少三个第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件和第二夹持元件均可以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转； 所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件相对的位置均设置有第一驱动组件，用于推动或吸引所述第一夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件相对的位置均设置有第二驱动组件，用于推动或吸引所述第二夹持元件以其旋转中心旋转; 所述卡盘主体侧壁上与每个所述第一夹持元件和第二夹持元件旋转中心上方相对的位置均设置有弹性体，用于径向弹开所述第一夹持元件和第二夹持元件。2.根据权利要求1所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述第一夹持元件的重心位于其旋转中心的上方，所述第二夹持元件的重心位于其旋转中心的下方； 所述第一驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件旋转中心下方相对的位置；所述第二驱动组件位于所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件旋转中心下方相对的位置。3.根据权利要求2所述的盘状物夹持装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括位于所述卡盘主体第一径向槽内的第一顶杆和位于所述卡盘主体第一轴向槽内的第一滑动导向块，且所述第一径向槽和第一轴向槽相通，所述第一滑动导向块可在所述第一轴向槽内上下移动，用于顶出所述第一顶杆；所述第二驱动组件包括位于所述卡盘主体第二径向槽内...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘福生，张豹，王瑞廷，吴仪，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：