湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液及其制备方法技术

一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为：纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蚀液的制备方法，按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀，然后加入计量好的硝酸并混合均匀，继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO2?和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO复合薄膜，得到边缘清晰、侧蚀比小的刻蚀图形。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及湿法刻蚀腐蚀液领域，特别涉及一种
技术介绍
铁电薄膜 与半导体材料的集成为具有微型化、低功耗、多功能集成等特点的新一代电子器件的设计与制备开辟了一条有效途径。铁电薄膜的电学性能受许多因素的影响，如薄膜的化学组分、结晶性、微观结构和结晶取向等，其中电极材料是影响铁电薄膜器件性能的关键因素。目前被广泛应用为铁电薄膜器件电极材料的是Pt/Ti金属薄膜。然而，由于铁电薄膜在制备后期需在氧或空气气氛中进行热处理，该热处理过程易导致Ti层的快速氧化以及Pt与铁电薄膜间化学成分的互扩散，形成一个“死层”，造成铁电薄膜的电学性能恶化。而且这一“死层”在器件的使用过程中还会加剧，使得器件使用性能退化严重，特别是抗疲劳特性变得很差。对于上述问题，在钙钛矿结构的导电金属氧化物上制备铁电薄膜能有效避免“死层”的形成，从而大大改善铁电薄膜的抗疲劳特性。结晶良好的镍酸镧(LaNiO3,简称LN0)是一种具有钙钛矿结构的导电金属氧化物。它具有良好的导电性和较好的结构稳定性，特别是具有立方结构，晶格常数为a=0.384nm，与许多铁电薄膜的晶格失配度小，可与具有钙钛矿结构的铁电材料较好地实现晶格匹配本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，其特征在于由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为：纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12，所述双氧水的质量浓度为30%，所述硝酸的质量浓度为65%，所述氢氟酸的质量浓度为37%。

【技术特征摘要】
1.一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，其特征在于由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为:纯净水:双氧水:硝酸:氢氟酸=I: 2 3: 0.5 1.0: 0.06 0.12，所述双氧水的质量浓度为30%，所述硝酸的质量浓度为65%，所述氢氟酸的质量浓度为37%。2.根据权利要求1所述湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，其特征在于纯净水为去离子水或蒸馏水。3.根据权利要求1或2所述湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液，其特征在于双氧水、硝酸和氢氟酸均为分析纯。4.一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液的制备方法，其特征在于以双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水为原料，纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积...

【专利技术属性】
技术研发人员：余萍，陈潇洋，樊明雷，朱建国，张小山，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：