一种芯片嵌入式三维圆片级封装结构制造技术

技术编号:8515049 阅读:160 留言:0更新日期:2013-03-30 14:15
本实用新型专利技术涉及一种芯片嵌入式三维圆片级封装结构,属于半导体芯片封装技术领域。它包括IC芯片Ⅰ(1)、IC芯片Ⅱ(2)、金属微结构(3)、高密度布线层、树脂层(6)、金属柱(7)和焊球凸点(9),所述IC芯片Ⅰ(1)与IC芯片Ⅱ(2)面对面分布在高密度布线层的下表面和上表面,所述再布线金属层Ⅱ(8)设置在IC芯片Ⅱ(2)的上方,通过金属柱(7)将信号传输至焊球凸点(9)。所述倒装方法包括倒装回流工艺或直接热压倒装工艺,所述平坦化处理包括减薄方式和/或整平方式。本实用新型专利技术实现了多个芯片在封装体内部的三维空间排布,缩短了信号传输的路线,加快了信号传输的速度,降低了封装体积,有利于薄型封装的推进。?(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种芯片嵌入式三维圆片级封装结构,属于半导体芯片封装

技术介绍
在当前的半导体行业中,电子封装已经成为行业发展的一个重要方面。几十年的封装技术的发展,使高密度、小尺寸的封装要求成为封装的主流方向。随着电子产品向更薄、更轻、更高引脚密度、更低成本方面发展,采用单颗芯片封装技术已经逐渐无法满足产业需求,一种新的封装技术——圆片级封装技术的出现为封装 行业向低成本封装发展提供了契机。传统多芯片封装技术中,芯片与芯片之间的对话通过基板实现,即芯片信号传输必须在基板上传输一圈才能到达另外的一个芯片,甚至需要到印刷电路板上传输才能实现信号的交流,这大大损失了信号的传输速度和增加了封装模块的功率消耗,与提倡绿色能源的现代社会理念矛盾。多芯片圆片级封装方法,其将多个芯片通过重构圆片和圆片级再布线的方式,实现多芯片结构封装,最终切割成单颗封装体。但目前的多芯片圆片级封装多采用二维平面排布模式,实现的芯片数量和封装体积受到限制。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足,提供一种实现多个芯片在封装体内部实现三维空间排布、缩短信号传输的路线、加快信号传输速度的芯片嵌入式三维圆片级封装结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种芯片嵌入式三维圆片级封装结构,所述封装结构包括带有芯片电极Ⅰ(11)的IC芯片Ⅰ(1)、带有芯片电极Ⅱ(21)的IC芯片Ⅱ(2)、金属微结构(3)、高密度布线层、树脂层(6)和焊球凸点(9),所述金属微结构(3)包括金属微柱(31)和设置在金属微柱(31)顶端的金属微凸点(32),其特征在于:所述IC芯片Ⅰ(1)与IC芯片Ⅱ(2)面对面分布在高密度布线层的下表面和上表面,所述高密度布线层包括再布线金属层Ⅰ(4)、填充再布线金属层Ⅰ(4)的介电层(41)和设置在高密度布线层的上表面的再布线金属电极(42),所述再布线金属电极(42)包括再布线金属电极Ⅰ(421)和再布线金属电极Ⅱ(422),...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张黎陈栋赖志明陈锦辉徐虹
申请(专利权)人:江阴长电先进封装有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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