【技术实现步骤摘要】
—种多晶硅湿刻机的抽风盖板
本专利技术涉及一种多晶硅湿刻机的抽风盖板。
技术介绍
多晶娃太阳能电池片的湿刻生产一般米用多晶娃湿刻机，多晶娃湿刻机内具有药液池，药液池的上方设置有抽风盖板，湿刻机一般可允许5道上料，即5片多晶硅片同时在药液上漂过，硅片只有下表面及侧面接触到药液，上表面由于是扩散面，扩散后产生方块电阻，故药液不漫过上表面，这种湿刻技术俗称水上漂技术，硅片与药液反应时会释放出气体与酸气，气体与酸气经抽风盖板被抽风装置吸走，现有的多晶硅湿刻机的抽风盖板，一般在本体纵向方向上开设6-8个贯穿自身的径向尺寸相同的抽风孔，不但不能够及时抽走气体与酸气，而且抽风不均匀，导致酸气与硅片上表面接触增大了方块电阻，影响了电池片的电性能，而且每道硅片的方块电阻上升值不一样，彼此之间相差较大，不符合标准范围，影响了电池片的转换效率。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供可及时、均匀得吸走气体和酸气，进而增进多晶硅太阳能电池片的电性能的多晶硅湿刻机的抽风盖板。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是一种多晶硅湿刻机的抽风盖板，沿所述抽风盖板纵向方向的中部开设一排贯穿自身的正面、背面的基准抽风孔，平行于所述基准抽风孔在所述抽风盖板上开设多排抽风孔，所述抽风孔密集、均匀得排布在所述抽风盖板本体上，所述抽风孔在所述抽风盖板的横向方向上至少排布有三列，每列所述抽风孔相互平行。优选地，所述抽风孔为圆形或多边形。优选地，所述抽风孔的径向尺寸由所述基准抽风孔向两侧逐排增大，每排所述抽风孔的径向尺寸相同。由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点开设贯穿抽风盖板的正...
【技术保护点】
一种多晶硅湿刻机的抽风盖板，其特征在于：沿所述抽风盖板纵向方向的中部开设一排贯穿自身的正面、背面的基准抽风孔，平行于所述基准抽风孔在所述抽风盖板上开设多排抽风孔，所述抽风孔密集、均匀得排布在所述抽风盖板本体上，所述抽风孔在所述抽风盖板的横向方向上至少排布有三列，每列所述抽风孔相互平行。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵春庆，蒋剑波，莫毓东，陆佳佳，
申请(专利权)人：昊诚光电太仓有限公司，
类型：发明
国别省市：
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