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本发明公开了一种多晶硅湿刻机的抽风盖板，在抽风盖板纵向方向的中部位置开设基准抽风孔，在基准抽风孔的两侧设置与之平行的径向尺寸逐渐增大的多排抽风孔，抽风孔在横向方向上至少排布为三列，这样抽风量较大且抽风较均匀，增进了多晶硅太阳能电池片的电性能...
该专利属于昊诚光电（太仓）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昊诚光电（太仓）有限公司授权不得商用。

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