【技术实现步骤摘要】
一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉
本技术涉及太阳能电池片生产领域，特别涉及一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉。
技术介绍
随着能源问题的日益突出，太阳能作为一种可再生的清洁能源，越来越受到人们的关注，太阳电池的应用前景也越来越广泛。晶体硅太阳电池一直是太阳电池领域的主力军，特别单晶硅电池转换率高于多晶硅，受到青睐。但是国内民用太阳能电池的普及率依然很低，原因还是在太阳能电池生产成本过高，理论上理想的生产工艺与产业化生产差距大，成品良率低，电池转换效率也与理论相差大，电池安装成本高等。因此降低制造成本和提高转化率是太阳电池制造行业的努力方向。电池片在生产过程中，需要在硅片的表面镀上一层减反射膜。目前，采用等离子体增强化学气相沉积方法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)，使气体在硅电池片表面发生化学反应并形成覆盖层，即减反射膜。此减反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的体钝化和表面钝化，以及利用氮化硅薄膜的强致密性和耐多数酸碱性，在硅片表面形成保护层。电池片的PEC...
【技术保护点】
1.一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，包括炉管、换热机构和抽气机构，所述炉管包括石英内层、加热层和保温外层，所述炉管的炉口端设置进气口，所述抽气机构设置在所述炉管的尾端，利用所述抽气机构对所述炉管内抽气，以促进炉管内气体流动；所述换热机构将所述炉管内炉口端的气体传送至所述炉管的尾端。/n
【技术特征摘要】
1.一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，包括炉管、换热机构和抽气机构，所述炉管包括石英内层、加热层和保温外层，所述炉管的炉口端设置进气口，所述抽气机构设置在所述炉管的尾端，利用所述抽气机构对所述炉管内抽气，以促进炉管内气体流动；所述换热机构将所述炉管内炉口端的气体传送至所述炉管的尾端。
2.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述加热层有依次设置的五个独立控制的电热丝组成，并且通过热电偶进行实时测温。
3.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷杰，
申请(专利权)人：昊诚光电太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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