硅片清洗脱胶夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗脱胶夹具，包含脱胶篮和硅片夹持部分，脱胶篮包括平行设置的第一侧板和第二侧板、以及安装于两侧板之间的一对横杆和一对支撑杆，一对横杆设置在该两侧板相对面的上段位置，一对支撑杆设置在该两侧板相对面的下段位置；硅片夹持部分包括两组条刷支撑机构，每组条刷支撑机构包含一个条刷、若干个条刷固定块、两个扭簧和一个支承轴，条刷同时固定于每组条刷固定块上的条刷安装槽中，条刷固定块上设有第一孔，每组条刷固定块通过第一孔同轴穿在同一个支承轴上；每个支承轴两端分别与第一侧板及第二侧板连接。本实用新型专利技术的装置，结构合理，彻底解决了硅片易滑倒、良品率低的问题。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种硅片清洗脱胶夹具，其特征在于：包含脱胶篮和硅片夹持部分，所述脱胶篮结构是，包括第一侧板（7）和第二侧板（8）、以及一对横杆（9）和一对支撑杆（6），其中的第一侧板（7）和第二侧板（8）相对平行设置，一对横杆（9）设置在第一侧板（7）和第二侧板（8）之间的上段位置，一对横杆（9）的两端与该两侧板固定连接；一对支撑杆（6）设置在第一侧板（7）和第二侧板（8）之间的下段位置，一对支撑杆（6）的两端与该两侧板固定连接；所述硅片夹持部分包括两组条刷支撑机构，每组条刷支撑机构包含一个条刷（2）、若干个条刷固定块（3）、两个扭簧（4）和一个支承轴（5），条刷（2）同时固定于每组条刷固定块（3）上的条刷安...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑军锋，申朝锋，
申请(专利权)人：西安隆基硅材料股份有限公司，无锡隆基硅材料有限公司，宁夏隆基硅材料有限公司，银川隆基硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：