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本实用新型公开了一种硅片清洗脱胶夹具，包含脱胶篮和硅片夹持部分，脱胶篮包括平行设置的第一侧板和第二侧板、以及安装于两侧板之间的一对横杆和一对支撑杆，一对横杆设置在该两侧板相对面的上段位置，一对支撑杆设置在该两侧板相对面的下段位置；硅片夹持部...该专利属于西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司授权不得商用。