【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种超精度位置确定系统，更具体地讲，涉及一种能够通过保持致动器的动力平衡来容易地提供旋转运动的超精度运动系统， 并且该超精度运动系统具有承载能力。
技术介绍
超精度位置确定技术在各个工业领域中显得越来越重要。具体地讲，半导体技术的发展已经引发了电路的高度集成，从而最新的微处理器具有大约O. 18 μ m的线宽，该线宽相当于人的头发的直径的1/500，在这种情况下，用于制造晶片的工作台所需要的精度需要具有20nm的重复能力(reproducibility),对应于所述线宽度的1/10。此外，亚微细粒(submicron)级的超精度运动设备的实施具有广泛的应用范围。即，超精度运动设备可用于超精度测量应用(例如，原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)等)和工业领域(例如，信息技术工业等)。由于包括接合件(joint)和链接件(link)的运动设备不能实现亚微细粒级精度，所以已经开发了使用弹性铰链和压电致动器的运动设备。然而，虽然普通的压电致动器可用于进行精确的控制，但是，由于压电致动器在长度上的驱动距离仅仅是大约O. I %，所以会存在这样的缺...
【技术保护点】
一种超精度运动系统，所述超精度运动系统包括：基座和工作台，工作台相对于基座能够按照6自由度运动；三个水平驱动单元，将基座和工作台连接，并且按照相等的间隔相互隔开，以实现工作台的3自由度平面内运动，即，x?轴平移运动、y?轴平移运动和z?轴旋转运动；三个竖直驱动单元，将基座和工作台连接，并被设置成分别平行于所述三个水平驱动单元，以实现工作台的3自由度离面运动，即，x?轴旋转运动、y?轴旋转运动和z?轴平移运动。
【技术特征摘要】
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