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本发明提供了一种超精度运动系统，所述超精度运动系统包括：基座和工作台，工作台相对于基座能够按照6自由度(DOF)运动；三个水平驱动单元，连接基座和工作台，并且按照相等的间隔相互隔开，以实现工作台的3-DOF平面内运动(x轴平移运动、y轴平移...
该专利属于三星电机株式会社;文畯熙所有，仅供学习研究参考，未经过三星电机株式会社;文畯熙授权不得商用。

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